| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 课题来源与目标 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的主要工作以及章节安排 | 第12-14页 |
| 第二章 Topmetal-I像素传感器 | 第14-22页 |
| 2.1 系列像素传感器简介 | 第14-15页 |
| 2.2 Topmetal-I传感器的结构功能 | 第15-19页 |
| 2.3 像素单元的工作原理 | 第19-21页 |
| 2.4 Topmetal传感器的应用 | 第21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 Topmetal-I传感器感光测试系统设计 | 第22-34页 |
| 3.1 感光测试系统总体设计方案 | 第22-23页 |
| 3.2 光学测试平台 | 第23-27页 |
| 3.2.1 测试平台的设计与搭建 | 第23-24页 |
| 3.2.2 光源及相关仪器参数 | 第24-27页 |
| 3.3 机械平台系统 | 第27-30页 |
| 3.3.1 电动位移平台的设计及其参数 | 第27-28页 |
| 3.3.2 电动位移平台的运动控制模式 | 第28-30页 |
| 3.4 数据获取系统 | 第30-32页 |
| 3.4.1 数据获取系统硬件框架介绍 | 第30-31页 |
| 3.4.2 数据获取系统中固件工作逻辑简介 | 第31-32页 |
| 3.5 数据分析系统 | 第32-33页 |
| 3.5.1 数据分析软件ROOT简介 | 第32-33页 |
| 3.5.2 数据分析思路 | 第33页 |
| 3.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 感光特性的实验研究 | 第34-50页 |
| 4.1 测试环境与方法 | 第34-40页 |
| 4.1.1 测试环境 | 第34页 |
| 4.1.2 测试脚本程序的设计 | 第34-37页 |
| 4.1.3 测试方法与步骤 | 第37-40页 |
| 4.2 单像素测试 | 第40-46页 |
| 4.2.1 405nm波长光的响应结果 | 第40-42页 |
| 4.2.2 650nm波长光的响应结果 | 第42-44页 |
| 4.2.3 850nm波长光的响应结果 | 第44-46页 |
| 4.3 像素阵列扫描 | 第46-49页 |
| 4.3.1 650nm波长光的扫描结果 | 第47-48页 |
| 4.3.2 850nm波长光的扫描结果 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 感光特性分析 | 第50-62页 |
| 5.1 数据分析 | 第50-53页 |
| 5.1.1 数据排列方式 | 第50-51页 |
| 5.1.2 有效数据提取 | 第51-52页 |
| 5.1.3 二维图填充方法 | 第52-53页 |
| 5.2 半导体的光电效应 | 第53-55页 |
| 5.2.1 硅的光吸收 | 第53-54页 |
| 5.2.2 PN结光电转换 | 第54-55页 |
| 5.3 结果分析与讨论 | 第55-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 总结 | 第62页 |
| 6.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |