| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 前言 | 第12页 |
| 1.2 铁电材料 | 第12-14页 |
| 1.2.1 铁电性 | 第12-14页 |
| 1.2.2 铁电材料的发展史 | 第14页 |
| 1.3 铁电薄膜材料 | 第14-15页 |
| 1.4 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3概述 | 第15-21页 |
| 1.4.1 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3结构 | 第15-16页 |
| 1.4.2 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜研究现状 | 第16-20页 |
| 1.4.3 NBT薄膜存在的问题 | 第20-21页 |
| 1.5 本课题的研究目的及意义 | 第21页 |
| 1.6 本论文研究的主要内容 | 第21-24页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第24-30页 |
| 2.1 实验原料与仪器设备 | 第24页 |
| 2.2 铁电薄膜的制备 | 第24-27页 |
| 2.2.1 薄膜制备技术 | 第24-26页 |
| 2.2.2 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基薄膜前驱体溶液的制备 | 第26页 |
| 2.2.3 Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基薄膜的制备 | 第26-27页 |
| 2.3 薄膜结构和性能的表征技术 | 第27-30页 |
| 2.3.1 X-射线衍射仪(XRD) | 第27-28页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第28页 |
| 2.3.3 铁电测试仪 | 第28-29页 |
| 2.3.4 阻抗分析仪 | 第29-30页 |
| 第三章 Mn掺量对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Mn)O_3薄膜性能的影响 | 第30-40页 |
| 3.1 Mn掺量对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Mn)O_3薄膜结晶性的影响 | 第30-32页 |
| 3.2 Mn掺量对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Mn)O_3薄膜电绝缘性的影响 | 第32-35页 |
| 3.3 Mn掺量对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Mn)O_3薄膜铁电性的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 Mn掺量对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti,Mn)O_3薄膜介电性的影响 | 第36-37页 |
| 3.5 小结 | 第37-40页 |
| 第四章 退火工艺对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜性能的影响 | 第40-52页 |
| 4.1 退火温度对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜性能的影响 | 第40-43页 |
| 4.1.1 退火温度对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜结晶性的影响 | 第40-42页 |
| 4.1.2 退火温度对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜电绝缘性的影响 | 第42-43页 |
| 4.1.3 退火温度对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜铁电性的影响 | 第43页 |
| 4.2 退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜性能的影响 | 第43-50页 |
| 4.2.1 退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜结晶性的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.2 退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜电绝缘性的影响 | 第46-47页 |
| 4.2.3 退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜铁电性的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.4 退火气氛对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜介电性的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 小结 | 第50-52页 |
| 第五章 衬底对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜性能的影响 | 第52-58页 |
| 5.1 衬底对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜结晶性的影响 | 第52-54页 |
| 5.2 衬底对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜电绝缘性的影响 | 第54-55页 |
| 5.3 衬底对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜铁电性的影响 | 第55-56页 |
| 5.4 衬底对Na_(0.5)Bi_(0.5)(Ti_(0.98)Mn_(0.02))O_3薄膜介电性的影响 | 第56-57页 |
| 5.5 小结 | 第57-58页 |
| 第六章 NBTMn/NBTNb/NBTMn多层结构薄膜的制备和性能 | 第58-62页 |
| 6.1 NBTMn/NBTNb/NBTMn薄膜的结晶性 | 第58-59页 |
| 6.2 NBTMn/NBTNb/NBTMn薄膜的整流特性 | 第59-60页 |
| 6.3 NBTMn/NBTNb/NBTMn薄膜的铁电性 | 第60-61页 |
| 6.4 NBTMn/NBTNb/NBTMn薄膜的介电性 | 第61页 |
| 6.5 小结 | 第61-62页 |
| 第七章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 7.1 主要研究结论 | 第62-63页 |
| 7.2 主要创新点 | 第63页 |
| 7.3 工作展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 附录 | 第76-77页 |
