| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·氧化锌简介 | 第10-11页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第11-15页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第11-12页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第12页 |
| ·喷雾热解法 | 第12-13页 |
| ·分子束外延法 | 第13-14页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第15-18页 |
| ·气敏元件 | 第15-16页 |
| ·压敏器件 | 第16页 |
| ·压电器件 | 第16-17页 |
| ·太阳能电池 | 第17页 |
| ·紫外光探测器 | 第17页 |
| ·薄膜晶体管 | 第17-18页 |
| ·柔性TCO薄膜研究进展 | 第18-19页 |
| ·激光辐照研究进展 | 第19页 |
| ·本课题研究的目标以及主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 柔性ZnO/PET薄膜的制备以及后处理 | 第21-28页 |
| ·磁控溅射技术基本原理 | 第21-24页 |
| ·薄膜生长过程 | 第24-25页 |
| ·薄膜生长的成核过程 | 第24页 |
| ·薄膜生长的基本模式 | 第24-25页 |
| ·中频反应磁控溅射法制备柔性ZnO/PET薄膜 | 第25-26页 |
| ·JCP-200中频磁控溅射系统 | 第25-26页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜样品制备条件 | 第26页 |
| ·激光辐照处理 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 柔性ZnO/PET薄膜的结构及其激光辐照效应 | 第28-39页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜的晶体结构 | 第28-32页 |
| ·X射线衍射(XRD)测量原理 | 第28-29页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜XRD研究 | 第29-32页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜的表面形貌AFM分析 | 第32-35页 |
| ·原子力显微镜(AFM)的测试原理 | 第32-33页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜晶体表面形貌的AFM图像分析 | 第33-35页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜的表面组分EDS研究 | 第35-38页 |
| ·X射线能谱仪(EDS)的测量原理 | 第35-36页 |
| ·溅射功率对柔性ZnO/PET薄膜表面组分的影响 | 第36-37页 |
| ·激光辐照对柔性ZnO/PET薄膜表面组分的影响 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 柔性ZnO/PET薄膜的电学性质及其激光辐照效应 | 第39-48页 |
| ·霍尔测试仪工作原理 | 第39-40页 |
| ·不同制备条件对柔性ZnO/PET薄膜电学性质的影响 | 第40-43页 |
| ·溅射功率对薄膜Hall性质的影响 | 第41-42页 |
| ·氩氧流量比对薄膜Hall性质的影响 | 第42-43页 |
| ·激光辐照效应 | 第43-46页 |
| ·激光辐照对薄膜Hall性质的影响 | 第44-45页 |
| ·激光辐照前后薄膜的交流阻抗谱研究 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 柔性ZnO/PET薄膜的光学性质及其激光辐照效应 | 第48-56页 |
| ·透射吸收谱的基本原理 | 第48-49页 |
| ·半导体的光吸收方式 | 第48-49页 |
| ·半导体的禁带宽度 | 第49页 |
| ·柔性ZnO/PET薄膜的紫外-红外光吸收特性 | 第49-53页 |
| ·氩氧流量比对薄膜光吸收和透射谱的影响 | 第49-52页 |
| ·溅射功率对薄膜紫外-红外光吸收和透射谱的影响 | 第52-53页 |
| ·激光辐照对柔性ZnO/PET薄膜紫外-红外光吸收特性的影响 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 硕士期间论文成果 | 第64页 |
