| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-36页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第13-16页 |
| ·大口径非球面测量研究现状 | 第16-22页 |
| ·探针扫描法大型非球面轮廓测量技术 | 第17-19页 |
| ·光学干涉法大型非球面轮廓测量技术 | 第19-21页 |
| ·存在问题 | 第21-22页 |
| ·大口径非球面测量关键技术 | 第22-32页 |
| ·表面形状测量回转基准及回转误差分离技术 | 第22-24页 |
| ·偏心和倾斜位姿误差的调整技术 | 第24-27页 |
| ·非接触式探针扫描技术 | 第27-32页 |
| ·大口径非球面表面轮廓测量技术发展趋势 | 第32-33页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第33-36页 |
| 第2章 基于单转位误差分离技术的表面形状测量方法 | 第36-54页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·回转基准空间回转运动误差的构成 | 第36-37页 |
| ·轴向回转误差单转位分离方法和技术 | 第37-44页 |
| ·轴向回转运动误差的逐测量圆周分离方法 | 第38-41页 |
| ·谐波奇异问题 | 第41-43页 |
| ·转位角影响分析Δα | 第43-44页 |
| ·误差分离系统构成 | 第44-45页 |
| ·仿真实验及实验验证 | 第45-52页 |
| ·仿真分析和验证 | 第46-47页 |
| ·实际测量数据验证 | 第47-51页 |
| ·与多步法误差分离比对 | 第51-52页 |
| ·空间回转误差自分离精密气浮轴系 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 基于空气静压支承技术的调心调倾方法与技术研究 | 第54-68页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·调心调倾技术原理 | 第54-62页 |
| ·调心调倾工作台构成 | 第54-56页 |
| ·偏心调整原理 | 第56-57页 |
| ·偏心调整数学模型 | 第57-58页 |
| ·倾斜调整原理 | 第58-59页 |
| ·倾斜调整数学模型 | 第59-62页 |
| ·调心调倾回转工作台测控系统构成 | 第62页 |
| ·测量实验与误差分析 | 第62-66页 |
| ·偏心调整分辨力测试 | 第62-63页 |
| ·倾斜调整分辨力测试 | 第63-65页 |
| ·稳定性测试 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第4章 大口径非球面轮廓测量中的激光差动共焦过零触发探测技术 | 第68-87页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·共焦探测系统对倾斜表面的响应特性 | 第68-75页 |
| ·共焦探测理论 | 第68-71页 |
| ·点探测器轴向偏移时共焦测量系统的响应特性 | 第71-72页 |
| ·差动共焦测量系统的轴向响应特性 | 第72-73页 |
| ·差动共焦系统对倾斜被测表面的轴向响应特性分析 | 第73-75页 |
| ·激光差动共焦过零触发表面形状测量技术 | 第75-79页 |
| ·激光差动共焦轴向光强响应曲线特性 | 第76-77页 |
| ·过零点跟踪和触发位置采集 | 第77-79页 |
| ·激光差动共焦过零触发表面形状探测系统 | 第79-80页 |
| ·表面形状探测器的实验测试 | 第80-85页 |
| ·对不同倾斜角度被测表面的测试 | 第80-82页 |
| ·轴向响应特性及过零触发测试 | 第82-83页 |
| ·恒高度传感测量实验 | 第83-84页 |
| ·轴向灵敏度测试 | 第84页 |
| ·稳定性测试 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 第5章 大口径非球面测量系统 | 第87-101页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·大口径非球面测量系统 | 第87-90页 |
| ·大口径非球面测量仪器测控系统 | 第90-97页 |
| ·测控系统总体构成 | 第90-91页 |
| ·激光差动共焦过零触发扫描测量模块 | 第91页 |
| ·逐测量圆周单转位误差分离测量模块 | 第91-93页 |
| ·X 向精密驱动定位模块 | 第93-95页 |
| ·Z 向精密驱动定位模块 | 第95-97页 |
| ·大口径非球面测量仪器的测量方式及测控软件 | 第97-100页 |
| ·大口径非球面测量仪器的测量方式 | 第97-98页 |
| ·大口径非球面测量仪器的测控软件系统 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第6章 实验结果及分析 | 第101-120页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·表面形状测量系统各部分性能测试 | 第101-108页 |
| ·仪器回转基准的径向回转误差测试 | 第101-103页 |
| ·仪器回转基准的轴向回转误差测试 | 第103-104页 |
| ·X 向和 Z 向直线运动基准的定位性能测试 | 第104-105页 |
| ·所研制探测器的轴向位移分辨力分析与实验 | 第105-107页 |
| ·所研制探测器的重复性实验 | 第107-108页 |
| ·大口径非球面表面形状测试 | 第108-109页 |
| ·不确定度分析 | 第109-118页 |
| ·测量系统数学模型 | 第109-116页 |
| ·标准不确定度评定 | 第116-118页 |
| ·合成不确定度评定 | 第118页 |
| ·扩展不确定度评定 | 第118页 |
| ·本章小结 | 第118-120页 |
| 结论 | 第120-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 附录 | 第131-133页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第133-134页 |
| 致谢 | 第134-135页 |
| 作者简介 | 第135页 |