| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-13页 |
| ·金刚石薄膜 | 第13-18页 |
| ·金刚石膜的结构和性质 | 第13-15页 |
| ·金刚石膜的成核和生长机理 | 第15-18页 |
| ·离子注入改性 | 第18-19页 |
| ·热丝化学气相沉积法 | 第19-20页 |
| ·金刚石膜应用中存在的问题及选题依据 | 第20页 |
| ·本论文研究目的和主要内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验方案 | 第22-31页 |
| ·注入和镀膜设备 | 第22-24页 |
| ·注入设备 | 第22-23页 |
| ·镀膜设备 | 第23-24页 |
| ·实验设计与工艺 | 第24-26页 |
| ·样品准备 | 第24-25页 |
| ·薄膜设计与镀膜工艺 | 第25-26页 |
| ·薄膜表征方法 | 第26-31页 |
| ·微观形貌 | 第26-27页 |
| ·结构和成分分析 | 第27-29页 |
| ·摩檫学性能分析 | 第29页 |
| ·薄膜形核密度和生长速率的表征 | 第29-30页 |
| ·薄膜附着性能测试 | 第30-31页 |
| 第3章 Ti 注入剂量对结构和性能的影响 | 第31-43页 |
| ·Ti 离子注入 YG6 表面的相结构及成分分析 | 第31-35页 |
| ·白光、SEM 观察与 X 射线能谱（EDS）分析 | 第31-34页 |
| ·相结构分析 | 第34-35页 |
| ·金刚石涂层质量分析 | 第35-40页 |
| ·涂层的微观形貌 | 第35-37页 |
| ·涂层的结构和成分 | 第37-40页 |
| ·不同剂量 Ti 离子注入对金刚石薄膜附着性能的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 Ti 注入能量对结构和性能的影响 | 第43-52页 |
| ·Ti 离子注入 YG6 表面的相结构及成分分析 | 第43-45页 |
| ·白光、SEM 观察与 X 射线能谱（EDS）分析 | 第43-44页 |
| ·相结构分析 | 第44-45页 |
| ·金刚石涂层质量分析 | 第45-49页 |
| ·涂层的微观形貌 | 第45-47页 |
| ·涂层的结构和成分 | 第47-49页 |
| ·不同能量 Ti 离子注入对金刚石薄膜附着性能的影响 | 第49页 |
| ·金刚石薄膜的摩擦学性能 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 离子注入对结合性能影响分析 | 第52-58页 |
| ·离子注入与表面状态 | 第52-55页 |
| ·金刚石成核与表面状态 | 第55-56页 |
| ·注入剂量和能量对结合性能的影响分析 | 第56-57页 |
| ·注入剂量对结合性能的影响分析 | 第56页 |
| ·注入能量对结合性能的影响分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 结论 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 个人简历 | 第68页 |
