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表面纳米结构制备及LED表面等离激元耦合增强发光机制研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-36页
   ·族Ⅲ氮化物LED的材料性质及器件概述第11-20页
     ·Ⅲ族氮化物材料的基本性质第11-14页
     ·Ⅲ族氮化物LED基本原理第14-16页
     ·Ⅲ族氮化物LED的所面临的挑战及最新进展第16-20页
   ·表面等离激元的基本性质及耦合增强发光第20-27页
     ·表面等离激元的基本性质第21-24页
     ·表面等离激元耦合增强LED的原理第24-25页
     ·表面等离激元耦合增强LED的最新进展第25-27页
   ·表面纳米结构第27-28页
   ·本文所作工作第28-29页
 参考文献第29-36页
第二章 自组织镍纳米模板的制备第36-47页
   ·研究意义第36页
   ·自组织镍模板的制备过程第36-38页
   ·自组织镍模板变化规律的研究第38-45页
     ·自组织镍模板随退火时间的变化规律第38-40页
     ·自组织镍模板随镍薄膜厚度的变化规律第40-42页
     ·自组织镍模板随退火温度的变化规律第42-43页
     ·自组织镍模板随基底材料的变化规律第43-45页
   ·本章小结第45-46页
 参考文献第46-47页
第三章 干法刻蚀对InGaN基多量子阱内量子效率影响研究第47-61页
   ·研究意义第47页
   ·InGaN基多量子阱纳米柱的制备及测试方法第47-53页
     ·InGaN基多量子阱纳米柱的制备过程第47-49页
     ·InGaN基多量子阱纳米柱的测试方法第49页
     ·干法刻蚀速率表征第49-50页
     ·InGaN基多量子阱纳米柱的湿法清洗第50-51页
     ·InGaN基多量子阱纳米柱的形貌表征及分析第51-53页
   ·干法刻蚀对InGaN基多量子阱纳米柱内量子效率影响研究第53-57页
     ·RF功率对InGaN基多量子阱内量子效率的影响第53-54页
     ·ICP功率对InGaN基多量子阱内量子效率的影响第54-56页
     ·纳米柱结构与平面结构InGaN基多量子阱量子效率的比较第56-57页
   ·本章小结第57-59页
 参考文献第59-61页
第4章 表面多孔结构局域表面等离激元增强InGaN基发光二极管研究第61-89页
   ·研究意义第61-62页
   ·表面多孔结构LSP增强InGaN基LED的制备及测试方法第62-69页
     ·表面多孔结构LSP增强InGaN基LED的制备过程第62-64页
     ·表面多孔结构LSP增强InGaN基LED的p-GaN表面形貌第64-67页
     ·表面多孔结构LSP增强InGaN基LED的测试方法第67-69页
   ·Au颗粒LSP增强蓝光LED发光机制研究第69-72页
     ·Au颗粒LSP增强蓝光LED的EL谱表征及分析第69-71页
     ·Au颗粒LSP增强蓝光LED的增益谱的表征及分析第71-72页
   ·Au/Al纳米颗粒LSP增强蓝光LED发光机制研究第72-78页
     ·蓝光LED的EL谱表征及分析第72-75页
     ·蓝光LED的增益谱表征及分析第75-76页
     ·蓝光LED的变电流EL特性第76-78页
     ·蓝光LED的Ⅰ-Ⅴ特性第78页
   ·Au/Al颗粒LSP增强宽谱LED发光机制的研究第78-86页
     ·宽谱LED的EL谱表征第78-80页
     ·宽谱LED的变电流EL谱表征第80-81页
     ·宽谱LED的增益谱表征第81-82页
     ·宽谱LED的光输出功率及光输出功率增益表征第82-84页
     ·Au/Al颗粒LSP增强宽谱LED的发光机制分析第84-86页
   ·本章小结第86-87页
 参考文献第87-89页
第六章 论文工作总结与展望第89-92页
   ·论文工作总结第89-90页
   ·研究展望第90-92页
致谢第92-93页
攻读博士学位期间发表的论文及申请的专利第93-94页

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