| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·课题研究背景 | 第12-14页 |
| ·太阳电池发展现状 | 第14-16页 |
| ·太阳电池的发展历程 | 第14页 |
| ·太阳电池的现状 | 第14-16页 |
| ·本课题的研究依据与意义 | 第16-19页 |
| ·太阳电池的种类与特点 | 第16-19页 |
| ·课题研究的依据 | 第19页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 薄膜太阳电池的相关理论 | 第21-38页 |
| ·半导体P-N结相关理论 | 第21-25页 |
| ·半导体 | 第21-22页 |
| ·半导体掺杂 | 第22-23页 |
| ·半导体P-N结 | 第23-25页 |
| ·内光电效应 | 第25页 |
| ·太阳电池的相关理论 | 第25-30页 |
| ·太阳电池的工作原理 | 第25-27页 |
| ·太阳电池的测试条件与等效电路 | 第27-28页 |
| ·太阳电池的电学参数 | 第28-30页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第30-35页 |
| ·薄膜制备工艺的分类 | 第30页 |
| ·薄膜制备工艺的原理 | 第30-35页 |
| ·退火工艺 | 第35页 |
| ·光刻工艺 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 AlN：Mg/ZnO：Al型异质结的制备及其研究 | 第38-54页 |
| ·材料性质 | 第38-39页 |
| ·ZnO：Al的性质 | 第38-39页 |
| ·AlN的性质 | 第39页 |
| ·薄膜的制备 | 第39-44页 |
| ·薄膜制备方法 | 第39-40页 |
| ·磁控溅射工艺设备 | 第40-42页 |
| ·磁控溅射薄膜制备过程 | 第42-43页 |
| ·磁控溅射工艺参数 | 第43-44页 |
| ·薄膜测试手段 | 第44-48页 |
| ·干涉显微镜测膜厚 | 第44-46页 |
| ·四探针测薄膜方阻 | 第46-47页 |
| ·KEITHLEY4200-SCS半导体测试仪测试异质结的I-V特性 | 第47-48页 |
| ·其它表征方法(外测设备) | 第48页 |
| ·薄膜测试结果与分析 | 第48-53页 |
| ·Mg掺杂的AlN(AlN:Mg)薄膜的溅射速度 | 第48-49页 |
| ·AlN：Mg薄膜的成分分析 | 第49-50页 |
| ·AlN：Mg薄膜的表面形貌分析 | 第50-51页 |
| ·AlN：Mg/ZnO：Al薄膜异质结的透过率分析 | 第51-52页 |
| ·AlN：Mg/ZnO：Al薄膜异质结的整流特性分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 NiO/ZnO：Al型异质结的制备与退火处理 | 第54-68页 |
| ·NiO的性质 | 第54页 |
| ·薄膜与制备 | 第54-56页 |
| ·NiO薄膜与制备 | 第55页 |
| ·ITO/NiO/ZnO：Al薄膜与制备 | 第55-56页 |
| ·退火工艺 | 第56-57页 |
| ·退火设备 | 第56页 |
| ·氮气退火 | 第56-57页 |
| ·实验结果与分析 | 第57-66页 |
| ·氮气退火对NiO薄膜透过率的影响 | 第57-58页 |
| ·氮气退火对NiO薄膜光学带隙的影响 | 第58-59页 |
| ·氮气退火对NiO薄膜晶体结构的影响 | 第59-60页 |
| ·氮气退火对NiO薄膜导电性的影响 | 第60-61页 |
| ·氮气退火对NiO薄膜成分的影响 | 第61-62页 |
| ·氮气退火对ZnO：Al薄膜透过率和光学带隙的影响 | 第62-64页 |
| ·氮气退火对ZnO：Al薄膜晶体结构的影响 | 第64-65页 |
| ·氮气退火对ZnO：Al薄膜电阻率的影响 | 第65页 |
| ·氮气退火对NiO/ZnO：Al薄膜P-N结的影响 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第五章 基于ZnO：Al薄膜非晶硅太阳电池的研究 | 第68-79页 |
| ·非晶硅薄膜特性 | 第68-69页 |
| ·非晶硅薄膜的制备 | 第69-72页 |
| ·非晶硅薄膜沉积设备——PECVD | 第70-71页 |
| ·非晶硅薄膜制备工艺参数 | 第71页 |
| ·非晶硅薄膜制备操作流程 | 第71-72页 |
| ·太阳电池的制备 | 第72-75页 |
| ·欧姆接触 | 第72-74页 |
| ·P-I-N型异质结太阳电池的结构与制备 | 第74-75页 |
| ·太阳电池的测试与分析 | 第75-78页 |
| ·非晶硅薄膜性能分析 | 第75-76页 |
| ·AlN：Mg/a-Si：H/ZnO：Al电池 | 第76-77页 |
| ·NiO/a-Si/ZnO：Al电池 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结论与展望 | 第79-81页 |
| ·结论 | 第79-80页 |
| ·问题与进展 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第85页 |
