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氧化锌基薄膜晶体管的磁控溅射法制备及其性能研究

摘要第1-3页
Abstract第3-6页
引言第6-8页
第一章 绪论第8-15页
   ·ZnO的结构和性能第8-9页
     ·ZnO的晶体结构第8页
     ·ZnO的电学性能第8-9页
     ·ZnO的光学性能第9页
   ·ZnO的应用第9-11页
     ·太阳能电池第9-10页
     ·ZnO发光器件第10页
     ·气敏器件第10-11页
     ·压敏器件第11页
     ·紫外探测器第11页
   ·ZnO薄膜的制备方法第11-14页
     ·脉冲激光沉积第12页
     ·分子束外延第12页
     ·溶胶-凝胶第12-13页
     ·金属有机化学气相沉积第13页
     ·磁控溅射第13-14页
   ·本论文研究的主要内容第14-15页
第二章 ZnO薄膜的制备与表征第15-26页
   ·磁控溅射法制备ZnO薄膜的特点和原理第15-16页
     ·磁控溅射的原理第15-16页
     ·射频磁控溅射的原理第16页
   ·实验设备第16-18页
   ·样品制备第18-20页
     ·基片清洗第18页
     ·薄膜制备第18页
     ·薄膜生长第18-19页
     ·透明薄膜晶体管的制备第19-20页
   ·ZnO薄膜的发光机理第20-21页
     ·绿光的发光机理第21页
     ·其他发光机理第21页
   ·ZnO薄膜的表征第21-26页
     ·X射线衍射(XRD)第21-22页
     ·原子力显微镜(AFM)第22-23页
     ·光致发光谱(PL)第23-24页
     ·紫外-可见分光光度计(UV-VIS)第24-26页
第三章 溅射参数对ZnO薄膜的影响第26-47页
   ·衬底温度对薄膜结构和光学性能的影响第26-30页
     ·衬底温度对薄膜晶体特性的影响第26-27页
     ·衬底温度对薄膜表面形貌第27-28页
     ·衬底温度对薄膜透过率的影响第28-30页
     ·本节小结第30页
   ·溅射功率对薄膜结构和光学性能的影响第30-37页
     ·溅射功率对溅射速率的影响第30-31页
     ·溅射功率对薄膜晶体特性的影响第31-32页
     ·溅射功率对薄膜表面形貌的影响第32-33页
     ·溅射功率对薄膜光学性能的影响第33-37页
     ·本节小结第37页
   ·氧氩比对磁控溅射制备ZnO薄膜特性的影响第37-41页
     ·氧氩比对薄膜厚度的影响第37-38页
     ·氧氩比对薄膜透过率的影响第38-39页
     ·氧氩比对薄膜荧光光谱的影响第39-40页
     ·本节小结第40-41页
   ·溅射气压对薄膜结构和光学性能的影响第41-47页
     ·溅射气压对薄膜厚度的影响第41-42页
     ·溅射气压对薄膜结晶性能的影响第42-43页
     ·溅射气压对薄膜表面形貌的影响第43-44页
     ·溅射气压对薄膜透过率的影响第44-46页
     ·本节小结第46-47页
第四章 衬底温度对掺镓ZnO和ZnO基薄膜晶体管的影响第47-54页
   ·衬底温度对磁控溅射制备掺镓ZnO薄膜特性的影响第47-49页
     ·衬底温度对薄膜透过率的影响第47-48页
     ·衬底温度对薄膜电学性能的影响第48-49页
     ·本节小结第49页
   ·衬底温度对ZnO基薄膜晶体管性能的影响第49-54页
     ·光刻第49-51页
     ·ZnO基TFT的结构和工作原理第51-53页
     ·本实验室ZnO薄膜晶体管的制备第53-54页
结论第54-55页
参考文献第55-59页
攻读学位期间的研究成果第59-60页
致谢第60-61页

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