| 第一章 引言 | 第1-20页 |
| ·铁电现象 | 第11-14页 |
| ·定义 | 第11页 |
| ·铁电体 | 第11-14页 |
| ·铁电薄膜 | 第14-16页 |
| ·背景 | 第14页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第14-15页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第15-16页 |
| ·溅射法 | 第15-16页 |
| ·分子束外延 | 第16页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第16页 |
| ·薄膜中的残余应力 | 第16-17页 |
| ·应变效应 | 第17-18页 |
| ·选题依据与研究内容 | 第18-20页 |
| ·选题依据 | 第19页 |
| ·本文的研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 实验平台构建 | 第20-30页 |
| ·实验仪器简介 | 第20-21页 |
| ·样品制备 | 第21-22页 |
| ·应力测量方法及原理 | 第22-24页 |
| ·三轴应力分析方法 | 第24-25页 |
| ·外延应变的倒易空间分析方法 | 第25-30页 |
| ·倒易空间图的基本原理 | 第25-27页 |
| ·倒易空间的实验扫描模式 | 第27-28页 |
| ·外延应变的精确测定原理 | 第28-30页 |
| 第三章 集成铁电器件用PT/TI 底电极的残余应力、热稳定性以及表界面研究 | 第30-37页 |
| ·背景 | 第30页 |
| ·实验细节 | 第30-31页 |
| ·样品制备 | 第30页 |
| ·微结构表征与应力测试 | 第30-31页 |
| ·PT/TI 电极薄膜的热稳定性与界面研究 | 第31-34页 |
| ·PT/TI 电极薄膜的残余应力研究 | 第34-37页 |
| 第四章 PZT 多晶铁电薄膜残余应力与微结构分析 | 第37-46页 |
| ·背景 | 第37页 |
| ·实验细节 | 第37-38页 |
| ·样品制备 | 第37-38页 |
| ·X 射线分析 | 第38页 |
| ·薄膜的微结构及结晶取向与退火升温速率的关系 | 第38-40页 |
| ·PZT 薄膜残余应力的X 射线衍射测量与分析 | 第40-46页 |
| 第五章 LAALO_3/BATIO_3铁电超晶格中 LAO 顶层结构对外延应变、微结构以及性能影响的X 射线衍射研究 | 第46-54页 |
| ·背景 | 第46页 |
| ·实验细节 | 第46-47页 |
| ·样品制备 | 第46-47页 |
| ·结构表征与性能测试 | 第47页 |
| ·LAO 顶层结构对超晶格微结构的影响 | 第47-49页 |
| ·LAO 顶层结构对超晶格中外延应变的影响 | 第49-51页 |
| ·LAO 顶层结构对超晶格中界面及密度的影响 | 第51-52页 |
| ·LAO 顶层结构对超晶格铁电性能的影响 | 第52-54页 |
| 第六章 结论和展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 作者攻硕期间取得的成果 | 第62页 |