白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
致谢	第11-12页
第一章 绪论	第12-21页
·本课题的研究背景	第12-13页
·表面三维形貌测量方法	第13-17页
·表面三维形貌特征的评价方法	第17-19页
·表面三维形貌测量仪的国内外发展状况及趋势	第19-20页
·课题来源与主要研究内容	第20-21页
第二章 白光扫描干涉测量三维形貌原理	第21-33页
·白光扫描干涉测量原理	第21-26页
·白光光源的种类及其相干长度	第26-27页
·白光干涉分析方法	第27-29页
·光源相干性的分析	第29-32页
·本章小结	第32-33页
第三章 白光扫描干涉测量系统设计	第33-44页
·测量系统概述	第33-34页
·光学系统	第34-35页
·微驱动装置及其控制系统	第35-36页
·调焦系统	第36-37页
·图像采集及数据处理系统	第37页
·白光扫描干涉的图像处理算法	第37-41页
·频域法误差分析	第41-43页
·本章小结	第43-44页
第四章 试验仿真与分析	第44-57页
·仿真方法	第44-49页
·PZT步进间隔的标定	第49-52页
·计算PZT步进间隔	第52-53页
·CCD的标定	第53-54页
·白光中心波长的标定	第54-55页
·三维表面的仿真计算	第55-56页
·本章小结	第56-57页
结论	第57-58页
参考文献	第58-61页
攻读硕士学位期间发表的论文	第61页