| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第5-10页 |
| ·国外工业激光加工现状与趋势 | 第5-7页 |
| ·国内工业激光加工现状与趋势 | 第7-8页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第8-9页 |
| ·本文的章节安排 | 第9-10页 |
| 第二章 激光加工系统 | 第10-16页 |
| ·激光加工方式 | 第10-12页 |
| ·激光偏转扫描系统特点 | 第12-13页 |
| ·激光偏转扫描系统原理 | 第13-16页 |
| 第三章 动态聚焦模块 | 第16-29页 |
| ·误差产生及其补偿机理 | 第16-19页 |
| ·动态聚焦模块光学系统 | 第19-21页 |
| ·动态聚焦模块机械结构 | 第21-23页 |
| ·PSD伺服控制 | 第23-26页 |
| ·动态聚焦运动控制 | 第26-29页 |
| 第四章 系统控制算法及图形校正 | 第29-35页 |
| ·扫描控制算法 | 第29-30页 |
| ·图形校正 | 第30-35页 |
| 第五章 控制模块 | 第35-44页 |
| ·激光器的控制模式 | 第35-36页 |
| ·控制软件模块及接口硬件 | 第36-40页 |
| ·RTC4运动控制卡 | 第40-44页 |
| 第六章 成果应用及今后的打算 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |