用于微流控芯片的压电薄膜微泵研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·压电微泵微驱动器 | 第10-12页 |
| ·微流体控制功能部件的集成化 | 第12-15页 |
| ·集成加热元件的PCR微芯片 | 第12-13页 |
| ·集成微型阀和加热、温控元件的微芯片 | 第13-14页 |
| ·集成微流控功能部件的微芯片 | 第14-15页 |
| ·存在的问题 | 第15页 |
| ·本文主要工作 | 第15-16页 |
| 2 圆形压电薄膜的制备及优化设计分析 | 第16-33页 |
| ·水热法制备PZT薄膜 | 第16-25页 |
| ·水热合成法制备PZT薄膜原理 | 第16-17页 |
| ·水热合成法制备工艺 | 第17-18页 |
| ·TiCL4浓度对PZT成分的影响 | 第18-24页 |
| ·PZT压电双晶片驱动能力实验分析 | 第24-25页 |
| ·圆形压电薄膜的结构优化设计 | 第25-32页 |
| ·圆形压电薄膜片的工作原理 | 第25-26页 |
| ·圆形压电薄膜片的有限元分析 | 第26-29页 |
| ·圆形压电薄膜片的结构优化 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 压电无阀微泵的优化设计及样机制备 | 第33-46页 |
| ·无阀微泵理论分析 | 第33-34页 |
| ·无阀微泵的工作原理 | 第33-34页 |
| ·无阀微泵的流量分析 | 第34页 |
| ·无阀微泵的制造 | 第34-36页 |
| ·微泵的动态特性与优化设计 | 第36-44页 |
| ·基于ANSYS/CFX流固耦合技术简介 | 第36-38页 |
| ·有限元模型的建立与仿真路线 | 第38-40页 |
| ·微泵的流场及压力场的动态特性 | 第40-41页 |
| ·微泵的结构优化设计 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 4 集成微泵的微流控芯片原理及样机研制 | 第46-58页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·集成微泵的微芯片 | 第46-49页 |
| ·集成微泵的微芯片的工作原理 | 第46-47页 |
| ·集成微泵的微芯片的结构设计 | 第47-49页 |
| ·集成微泵的微芯片的样机制备 | 第49-57页 |
| ·集成微泵的微芯片基体的制备 | 第49-54页 |
| ·微泵泵膜的制备 | 第54-56页 |
| ·集成微泵的微流控芯片的装配 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 集成微泵的微流控芯片性能测试 | 第58-68页 |
| ·试剂和试样 | 第58页 |
| ·仪器设备 | 第58-59页 |
| ·检测原理及进样方式 | 第59-62页 |
| ·激光诱导荧光检测原理 | 第59-60页 |
| ·进样方式简介 | 第60-62页 |
| ·实验操作 | 第62-64页 |
| ·实验前处理 | 第62页 |
| ·实验过程 | 第62-64页 |
| ·实验结果及分析 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
