| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 薄膜生长理论 | 第7-21页 |
| ·薄膜生长的理论模型 | 第7-9页 |
| ·薄膜表面形核和成长理论 | 第9-10页 |
| ·扩散问题在薄膜生长过程中的研究 | 第10-17页 |
| ·原子的基本扩散过程 | 第10-12页 |
| ·单个原子和小岛(cluster)的扩散 | 第12-17页 |
| ·在平整表面上的扩散 | 第12-14页 |
| ·表面绕角扩散 | 第14-15页 |
| ·台阶表面的扩散 | 第15-17页 |
| ·不同的生长模式 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 研究方法 | 第21-33页 |
| ·概述 | 第21-22页 |
| ·分子动力学的原理 | 第22-23页 |
| ·原子间相互作用势 | 第23-26页 |
| ·系统原子的位置和速度 | 第26-29页 |
| ·分子动力学的周期性边界条件 | 第29-30页 |
| ·模拟的系综 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-33页 |
| 第三章 FCC金属(110)表面的原子和小团簇向上扩散的研究 | 第33-49页 |
| ·研究背景 | 第33-35页 |
| ·计算模型 | 第35-36页 |
| ·研究内容 | 第36-39页 |
| ·时间步长 | 第36-37页 |
| ·晶格常数 | 第37-38页 |
| ·对计算中所采用的作用势的验证 | 第38-39页 |
| ·单个原子和小团簇在AL的同质外延过程中的向上扩散的研究 | 第39-45页 |
| ·单个原子在(111)和(100)斜面的向上扩散 | 第40-42页 |
| ·单个原子在(111)斜面的向上扩散 | 第40-41页 |
| ·单个原子在(100)斜面的向上扩散 | 第41-42页 |
| ·小团簇沿斜面的向上扩散 | 第42-45页 |
| ·二聚体在(111)斜面模型中的向上扩散的研究 | 第42-43页 |
| ·三聚体在(111)斜面模型中的向上扩散的研究 | 第43-44页 |
| ·四聚体在(111)斜面模型中的向上扩散的研究 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45页 |
| ·原子和小团簇在CU的同质外延生长过程中的向上扩散研究 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 结论 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第51页 |
