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激光微熔覆技术制备平面微电感的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
1 绪论第9-20页
   ·前言第9-10页
   ·微电感的性质、分类和应用第10-11页
   ·微电感制备技术的国内外概况第11-15页
   ·激光微熔覆技术与常规技术的优缺点比较第15-16页
   ·课题来源、目标、方法、内容、路线和创新点第16-19页
   ·本章小结第19-20页
2 激光微熔覆专用的电感浆料研究第20-31页
   ·前言第20-21页
   ·实验设备、方法和材料第21-22页
   ·电感浆料的成分控制与优化第22-23页
   ·结果与分析第23-30页
   ·本章小结第30-31页
3 激光微熔覆技术制备微电感的工艺研究第31-48页
   ·前言第31页
   ·实验设备、方法和材料第31-34页
   ·膜厚随匀胶工艺参数的变化规律第34-43页
   ·基于匀胶的激光微熔覆工艺规律第43-46页
   ·试验线宽的微喷直写电感工艺参数第46页
   ·热处理工艺第46-47页
   ·本章小结第47-48页
4 激光微熔覆技术制备微电感的性能研究第48-64页
   ·前言第48页
   ·实验设备、方法和材料第48-49页
   ·影响微电感电学性能的关键因素第49-58页
   ·显微形貌和成分分布第58-62页
   ·微电感的可靠性测试第62-63页
   ·本章小结第63-64页
5 激光微熔覆矩形微电感的电感量计算模型第64-71页
   ·前言第64页
   ·矩形微电感的电路模型第64-65页
   ·空芯电感的典型电感量计算模型第65-67页
   ·空芯矩形微电感的电感量计算式第67-70页
   ·本章小结第70-71页
6 结论与建议第71-73页
   ·主要结论第71页
   ·课题建议第71-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-82页
附录1 作者在攻读硕士学位期间发表文章和申请专利情况第82页

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