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基于RF MEMS技术的微波接收前端关键部件实现研究

摘要第1-8页
ABSTRACT第8-18页
第一章 绪论第18-38页
   ·本论文研究背景第18-21页
   ·研究现状和存在问题第21-31页
     ·国内外对基于RF MEMS器件射频前端研究现状第21-30页
     ·现有的射频前端存在问题第30-31页
   ·论文的主要内容和贡献第31-33页
   ·论文的章节组织结构第33-35页
 参考文献第35-38页
第二章 微波射频前端RF MEMS关键器件设计基础第38-63页
   ·微带传输线第38-39页
   ·慢波共面波导传输线第39-43页
   ·两端口微波网络第43-46页
   ·微波滤波网络第46-47页
   ·微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论第47-52页
   ·分形结构原理第52-53页
   ·分形天线的形式结构第53-56页
     ·线天线类第53-54页
     ·拓扑维度为2的天线第54页
     ·分形环天线第54-56页
   ·分形自相似滤波原理第56-57页
   ·本章小结第57-59页
 参考文献第59-63页
第三章 微波接收前端硅基MEMS可重构缝隙天线设计第63-73页
   ·硅基可重构天线的MEMS开关设计第63-67页
     ·MEMS开关种类第64-65页
     ·可重构天线的MEMS开关下拉电压设计第65-66页
     ·可重构缝隙天线的MEMS开关尺寸和基本参数仿真第66-67页
   ·硅基可重构天线的天线设计第67-70页
     ·天线的结构设计第68页
     ·天线各部分的尺寸设计第68-70页
     ·介质材料的影响第70页
     ·馈电方式的确定及阻抗匹配第70页
   ·掩模版的制作版图各层的设计规则第70-72页
   ·本章小结第72页
 参考文献第72-73页
第四章 微波接收前端硅基MEMS可重构分形天线设计第73-81页
   ·欧姆接触式开关的设计第73-74页
   ·Sierpinski分形天线的设计第74-77页
   ·Minkowski,Single-Arm Spiral,Double-Ring分形天线的设计第77-79页
   ·本章小结第79-80页
 参考文献第80-81页
第五章 微波接收前端硅基MEMS分形滤波器设计第81-98页
   ·滤波器性能指标第81-82页
   ·低通原型滤波的设计原理第82-85页
   ·分布参数法设计微波滤波器第85-87页
   ·MEMS低通滤波器原型设计第87-91页
     ·分布式MEMS传输线等效电感的建模及仿真第87-89页
     ·引入MEMS分布电容实现低通滤波单元第89-91页
   ·引入MEMS分布电容实现低通滤波单元第91-92页
   ·引入多触点开关调节电感值第92-93页
   ·集总模型的提取及可行性分析第93-94页
   ·RF MEMS低通滤波单元的优化设计第94-96页
   ·滤波器的重构技术第96-97页
   ·本章小结第97页
 参考文献第97-98页
第六章 微波射频前端的关键部件工艺制备第98-106页
   ·微波射频前端的关键部件的通用工艺流程第98-102页
   ·MEMS天线的制作第102页
   ·滤波器的制备工艺第102-103页
     ·滤波器的淀积氮化硅制备工艺第102页
     ·多触点开关的制作第102-103页
   ·去除牺牲层第103-104页
   ·本章小结第104-105页
 参考文献:第105-106页
第七章 微波射频前端的关键部件测试第106-120页
   ·MEMS可重构天线的开关性能的测试结果第106-107页
     ·模拟得到的开关的S_(11)参数第106页
     ·测试得到的开关的S_(11)参数第106-107页
   ·MEMS天线的测试结果第107-109页
     ·测试天线的S_(11)第107-108页
     ·测试的天线辐射方向图第108-109页
   ·分形天线用悬臂梁MEMS开关的测试结果第109-110页
   ·Sierpinski天线的测试结果第110-111页
   ·Minkowski天线测试结果第111-114页
   ·Single-Arm Spiral天线测试结果第114页
   ·Double-Ring天线测试结果第114-117页
   ·MEMS可重构低通滤波器的测试分析第117-119页
     ·测试环境和测试系统第117页
     ·测试原理第117页
     ·滤波器性能测试分析第117-119页
   ·本章小结第119-120页
第八章 结论第120-124页
   ·本论文所作的工作和创新第120-122页
   ·今后的研究方向第122-124页
攻读博士期间发表论文第124-125页
致谢第125页

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