摘要 | 第1-8页 |
ABSTRACT | 第8-18页 |
第一章 绪论 | 第18-38页 |
·本论文研究背景 | 第18-21页 |
·研究现状和存在问题 | 第21-31页 |
·国内外对基于RF MEMS器件射频前端研究现状 | 第21-30页 |
·现有的射频前端存在问题 | 第30-31页 |
·论文的主要内容和贡献 | 第31-33页 |
·论文的章节组织结构 | 第33-35页 |
参考文献 | 第35-38页 |
第二章 微波射频前端RF MEMS关键器件设计基础 | 第38-63页 |
·微带传输线 | 第38-39页 |
·慢波共面波导传输线 | 第39-43页 |
·两端口微波网络 | 第43-46页 |
·微波滤波网络 | 第46-47页 |
·微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论 | 第47-52页 |
·分形结构原理 | 第52-53页 |
·分形天线的形式结构 | 第53-56页 |
·线天线类 | 第53-54页 |
·拓扑维度为2的天线 | 第54页 |
·分形环天线 | 第54-56页 |
·分形自相似滤波原理 | 第56-57页 |
·本章小结 | 第57-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
第三章 微波接收前端硅基MEMS可重构缝隙天线设计 | 第63-73页 |
·硅基可重构天线的MEMS开关设计 | 第63-67页 |
·MEMS开关种类 | 第64-65页 |
·可重构天线的MEMS开关下拉电压设计 | 第65-66页 |
·可重构缝隙天线的MEMS开关尺寸和基本参数仿真 | 第66-67页 |
·硅基可重构天线的天线设计 | 第67-70页 |
·天线的结构设计 | 第68页 |
·天线各部分的尺寸设计 | 第68-70页 |
·介质材料的影响 | 第70页 |
·馈电方式的确定及阻抗匹配 | 第70页 |
·掩模版的制作版图各层的设计规则 | 第70-72页 |
·本章小结 | 第72页 |
参考文献 | 第72-73页 |
第四章 微波接收前端硅基MEMS可重构分形天线设计 | 第73-81页 |
·欧姆接触式开关的设计 | 第73-74页 |
·Sierpinski分形天线的设计 | 第74-77页 |
·Minkowski,Single-Arm Spiral,Double-Ring分形天线的设计 | 第77-79页 |
·本章小结 | 第79-80页 |
参考文献 | 第80-81页 |
第五章 微波接收前端硅基MEMS分形滤波器设计 | 第81-98页 |
·滤波器性能指标 | 第81-82页 |
·低通原型滤波的设计原理 | 第82-85页 |
·分布参数法设计微波滤波器 | 第85-87页 |
·MEMS低通滤波器原型设计 | 第87-91页 |
·分布式MEMS传输线等效电感的建模及仿真 | 第87-89页 |
·引入MEMS分布电容实现低通滤波单元 | 第89-91页 |
·引入MEMS分布电容实现低通滤波单元 | 第91-92页 |
·引入多触点开关调节电感值 | 第92-93页 |
·集总模型的提取及可行性分析 | 第93-94页 |
·RF MEMS低通滤波单元的优化设计 | 第94-96页 |
·滤波器的重构技术 | 第96-97页 |
·本章小结 | 第97页 |
参考文献 | 第97-98页 |
第六章 微波射频前端的关键部件工艺制备 | 第98-106页 |
·微波射频前端的关键部件的通用工艺流程 | 第98-102页 |
·MEMS天线的制作 | 第102页 |
·滤波器的制备工艺 | 第102-103页 |
·滤波器的淀积氮化硅制备工艺 | 第102页 |
·多触点开关的制作 | 第102-103页 |
·去除牺牲层 | 第103-104页 |
·本章小结 | 第104-105页 |
参考文献: | 第105-106页 |
第七章 微波射频前端的关键部件测试 | 第106-120页 |
·MEMS可重构天线的开关性能的测试结果 | 第106-107页 |
·模拟得到的开关的S_(11)参数 | 第106页 |
·测试得到的开关的S_(11)参数 | 第106-107页 |
·MEMS天线的测试结果 | 第107-109页 |
·测试天线的S_(11) | 第107-108页 |
·测试的天线辐射方向图 | 第108-109页 |
·分形天线用悬臂梁MEMS开关的测试结果 | 第109-110页 |
·Sierpinski天线的测试结果 | 第110-111页 |
·Minkowski天线测试结果 | 第111-114页 |
·Single-Arm Spiral天线测试结果 | 第114页 |
·Double-Ring天线测试结果 | 第114-117页 |
·MEMS可重构低通滤波器的测试分析 | 第117-119页 |
·测试环境和测试系统 | 第117页 |
·测试原理 | 第117页 |
·滤波器性能测试分析 | 第117-119页 |
·本章小结 | 第119-120页 |
第八章 结论 | 第120-124页 |
·本论文所作的工作和创新 | 第120-122页 |
·今后的研究方向 | 第122-124页 |
攻读博士期间发表论文 | 第124-125页 |
致谢 | 第125页 |