低温等离子体放电过程的数值模拟

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 引言	第8-21页
·等离子体概述	第8-11页
·低温等离子体概述	第11-12页
·低温等离子体技术的应用	第12-15页
·低温等离子体的产生	第15-18页
·低温等离子体物理研究现状及面临问题	第18-19页
·本论文研究工作的意义、目的和研究内容	第19-21页
第二章 气体放电基本理论分析	第21-30页
·气体放电的历史回顾	第21-24页
·汤生气体放电原理	第24-26页
·气体放电的着火条件	第26-27页
·碰撞理论简介	第27-30页
第三章 低温等离子体放电物理过程的各种分析模型	第30-37页
·动力学模型	第30-32页
·蒙特卡罗模型	第32-33页
·流体模型	第33-37页
·流体模型基本原理	第33-34页
·流体模型国内外的发展情况	第34-35页
·流体模型发展趋势	第35-37页
第四章 流体模型的数值处理	第37-43页
·动量方程的数值处理	第37-39页
·连续性方程的数值处理	第39-41页
·泊松方程的数值处理	第41-42页
·边界条件处理	第42-43页
第五章 感应耦合和电容耦合等离子体放电过程的模拟	第43-62页
·低温等离子体的射频放电	第43-44页
·感应耦合等离子体放电	第44-57页
·高密度等离子体源	第44-45页
·射频感应耦合等离子体(ICP)源的基本工作原理	第45-46页
·ICP 放电模型的数值处理	第46-48页
·模拟结果及讨论	第48-57页
·电容耦合等离子体放电	第57-62页
·概述	第57-59页
·模拟结果及讨论	第59-62页
第六章 总结	第62-63页
致谢	第63-64页
参考文献	第64-66页
攻读硕士期间取得的研究成果	第66-67页