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金属氧化物气敏材料研究

摘要第1-3页
ABSTRACT第3-5页
第一章 半导体氧化物气敏材料的研究现状第5-21页
   ·气敏传感器的分类第5-6页
   ·半导体氧化物气敏材料的发展及应用第6-8页
   ·金属氧化物半导体的基本理论第8-10页
     ·半导体的能带结构第8-9页
     ·氧化物半导体的缺陷第9-10页
   ·半导体氧化物的气敏机理第10-14页
     ·表面吸附控制型第11页
     ·体电阻控制型第11页
     ·氧离子陷阱势垒模型第11-13页
     ·吸附氧理论第13-14页
   ·半导体气敏传感器的主要参数与特性第14-15页
   ·SnO_2基纳米复合氧化物半导体气敏材料研究现状第15-18页
     ·纳米粒子的结构和特性第15-16页
     ·过渡、稀土金属元素掺杂的 SnO_2膜传感器研究第16页
     ·杂化氧化物的 SnO_2传感器的研究第16-17页
     ·SnO_2基半导体气敏材料的特点及存在的技术问题第17-18页
   ·研究目的和内容第18-21页
第二章 Sb掺杂对 CdSnO_3电导及气敏特性的影响第21-35页
   ·元件制备和工作原理第21-22页
   ·样品的制备第22-23页
   ·固溶特性第23-24页
   ·缺陷化学与导电机理第24-33页
     ·电导由晶界电导和体电导共同决定第24-26页
     ·气敏特性主要由界面电导决定第26-28页
     ·缺陷与电导间的关系第28-30页
     ·气敏性能与能垒的关系第30-33页
   ·响应恢复特性第33页
   ·结论第33-35页
第三章 SnO_2-Co_3O_4对丙酮和酒精的气敏性能第35-42页
   ·样品的制备第35页
   ·样品的表征第35-36页
   ·气敏性能第36-40页
     ·电阻变化第36-37页
     ·气敏特性第37-39页
     ·响应恢复特性第39-40页
   ·结论第40-42页
参考文献第42-45页
致谢第45页

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