基于可编程逻辑控制器的MOCVD控制系统设计及研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstractor | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·半导体材料发展历程与发展方向 | 第8-9页 |
| ·半导体材料的发展历程 | 第8-9页 |
| ·当前半导体材料的研究热点和趋势 | 第9页 |
| ·MOCVD概况 | 第9-13页 |
| ·MOCVD定义 | 第9-10页 |
| ·MOCVD技术的基本原理 | 第10-11页 |
| ·MOCVD发展概况和发展前景 | 第11-12页 |
| ·研究MOCVD控制系统的意义 | 第12页 |
| ·所研制的MOCVD系统结构 | 第12-13页 |
| ·主要工作和论文安排 | 第13-14页 |
| ·主要工作 | 第13页 |
| ·论文的章节安排 | 第13-14页 |
| 第二章 工业控制自动化技术研究 | 第14-22页 |
| ·工业控制自动化技术的现状研究 | 第14-18页 |
| ·工业PC | 第14-15页 |
| ·PLC控制系统 | 第15页 |
| ·集散控制系统DCS | 第15-16页 |
| ·现场总线控制系统FCS | 第16-17页 |
| ·现代各控制系统研究 | 第17-18页 |
| ·MOCVD控制系统的方案选择 | 第18-19页 |
| ·S7- 300/400PLC简介与编程软件简介 | 第19-21页 |
| ·PLC的定义 | 第19页 |
| ·PLC的基本工作原理 | 第19页 |
| ·57- 300/400 PLC的系统结构 | 第19-20页 |
| ·编程软件STEP7 简介 | 第20-21页 |
| ·STEP7 的基本使用方法 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 MOCVD控制系统硬件设计与设备选型 | 第22-32页 |
| ·系统的总体方案设计 | 第22-23页 |
| ·气路与反应室温度的控制 | 第23-24页 |
| ·电磁阀的控制 | 第23页 |
| ·电机的控制 | 第23页 |
| ·压力、流量控制 | 第23页 |
| ·反应室温度控制设计 | 第23-24页 |
| ·模拟量分时采集方案设计 | 第24页 |
| ·MOCVD系统中的设备选型 | 第24-27页 |
| ·上位机及温控器选型 | 第24页 |
| ·PLC系统I/O配置和型号选择 | 第24-27页 |
| ·硬件组态 | 第27页 |
| ·PLC系统的背板总线电流计算方法 | 第27-29页 |
| ·主机架背板总线电流计算方法 | 第28-29页 |
| ·PLC系统电源功率核算 | 第29页 |
| ·57-300 PLC系统扩展方法及注意事项 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-32页 |
| 第四章 MOCVD控制系统的设计与优化研究 | 第32-52页 |
| ·新的软件设计思想的提出 | 第32-33页 |
| ·MOCVD工艺概述与控制流程 | 第33-34页 |
| ·PLC控制系统软件设计 | 第34-36页 |
| ·PLC软件的总体设计 | 第34-35页 |
| ·手动控制 | 第35页 |
| ·自动控制 | 第35-36页 |
| ·步序和循环的控制 | 第36-38页 |
| ·模拟量的分时采集 | 第38-40页 |
| ·模拟量输入子系统方案设计 | 第38-39页 |
| ·控制与实现 | 第39-40页 |
| ·模拟量的平滑处理及输出 | 第40-43页 |
| ·Ramp子程序 | 第41-42页 |
| ·触发信号的控制 | 第42页 |
| ·模拟量的输出控制 | 第42-43页 |
| ·数字量的输出 | 第43-44页 |
| ·报警及故障处理 | 第44-45页 |
| ·系统异常中断的保护处理 | 第45-46页 |
| ·PLC的中断过程 | 第45-46页 |
| ·中断处理 | 第46页 |
| ·核心技术的加密保护 | 第46-48页 |
| ·上位机监控软件的设计与优化 | 第48-51页 |
| ·WinCC 5.0 概述 | 第48-50页 |
| ·与PLC通讯设置 | 第50页 |
| ·上位机监控系统主要功能 | 第50页 |
| ·监控界面 | 第50-51页 |
| ·报警处理界面 | 第51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第五章 反应室温度控制设计及温度控制理论研究 | 第52-62页 |
| ·MOCVD反应室加热原理及温度控制特点 | 第52-53页 |
| ·MOCVD反应室感应加热原理 | 第52页 |
| ·MOCVD反应室温度控制特点 | 第52-53页 |
| ·手动调节温度曲线 | 第53页 |
| ·温度控制系统设计 | 第53-56页 |
| ·上位机控制方式 | 第54页 |
| ·底层PLC控制温度方式 | 第54-56页 |
| ·神经网络在MOCVD温度控制中的应用研究 | 第56-61页 |
| ·人工神经网络控制系统 | 第56-57页 |
| ·改进的BP神经网络建模 | 第57-59页 |
| ·结果与分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 在读期间研究成果 | 第70页 |
