| 摘 要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·微波等离子体的产生及其在现代工业中的地位 | 第8-11页 |
| ·微波等离子体的产生 | 第8-9页 |
| ·微波等离子体在现代工业中的地位 | 第9-11页 |
| ·开发此系统的研究意义 | 第11页 |
| ·本论文组织 | 第11-12页 |
| 第二章 旋转椭球谐振腔的理论研究 | 第12-34页 |
| ·旋转椭球坐标系的分析 | 第12-14页 |
| ·旋转椭球坐标系中的分离变量法的分析 | 第14-15页 |
| ·旋转椭球坐标系中贝塞耳函数的分析 | 第15-21页 |
| ·球贝塞耳函数的分析 | 第15-17页 |
| ·球聂曼函数的分析 | 第17-18页 |
| ·汉克尔函数的分析 | 第18-21页 |
| ·旋转椭球坐标系中连带勒让德函数的分析 | 第21-24页 |
| ·平面波用旋转椭球波函数展开 | 第24-28页 |
| ·椭球谐振腔的计算 | 第28-34页 |
| 第三章 旋转椭球谐振腔的仿真分析 | 第34-55页 |
| ·椭球谐振腔微波等离子体系统的模型及仿真工具的选择 | 第34-36页 |
| ·完整结构的仿真 | 第36-39页 |
| ·a/b=1.2 时的仿真结果 | 第37-38页 |
| ·a/b=1.5 时的仿真结果 | 第38-39页 |
| ·有介质和垫片时的仿真 | 第39-41页 |
| ·a/b=1.2 时的仿真结果 | 第39-40页 |
| ·a/b=1.5 时的仿真结果 | 第40-41页 |
| ·半椭球腔体的仿真 | 第41-43页 |
| ·a/b=1.2 时的仿真结果 | 第42页 |
| ·a/b=1.5 时的仿真结果 | 第42-43页 |
| ·电磁波在等离子体中传播的研究和仿真 | 第43-49页 |
| ·电磁波与等离子体耦合的研究和仿真 | 第49-55页 |
| ·耦合问题的普遍解 | 第49-51页 |
| ·电磁场与等离子体的耦合 | 第51-55页 |
| 第四章 结论 | 第55-57页 |
| ·仿真设计总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第60页 |