| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-24页 |
| ·生物传感器 | 第8-10页 |
| ·微电子机械系统 | 第10-16页 |
| ·MEMS的主要研究内容 | 第13页 |
| ·MEMS的主要加工技术 | 第13-15页 |
| ·MEMS技术的应用 | 第15-16页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁生物传感器 | 第16-23页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁的质量检测分辨率 | 第17-18页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁生物传感器的发展 | 第18-22页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁生物传感器中存在的问题 | 第22-23页 |
| ·本论文的研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 微机械悬臂梁的谐振模态 | 第24-47页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁 | 第24-28页 |
| ·微机械悬臂梁的弯曲谐振模态 | 第24-26页 |
| ·微机械悬臂梁的扭转谐振模态 | 第26-27页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁的质量检测灵敏度 | 第27-28页 |
| ·微机械悬臂梁固有频率的影响因素 | 第28页 |
| ·微机械悬臂梁中的噪声机制 | 第28-37页 |
| ·理论模型 | 第29-33页 |
| ·噪声机制对微机械悬臂梁谐振频率稳定性的影响 | 第33-36页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁的质量检测分辨率 | 第36-37页 |
| ·微机械悬臂梁中的阻尼机制 | 第37-38页 |
| ·高阶模态微机械悬臂梁的激励方式 | 第38-39页 |
| ·高阶模态微机械悬臂梁的振动检测方式 | 第39-46页 |
| ·单晶硅的压阻效应 | 第40-42页 |
| ·微机械悬臂梁弯曲模态的压阻检测 | 第42-45页 |
| ·微机械悬臂梁弯曲模态的压阻检测 | 第45-46页 |
| ·结论 | 第46-47页 |
| 第三章 谐振式硅微机械压阻悬臂梁生物传感器制作工艺 | 第47-59页 |
| ·微机械悬臂梁生物传感器工艺流程 | 第47-50页 |
| ·顶层硅减薄 | 第48页 |
| ·压阻的形成 | 第48-49页 |
| ·互联和电磁激励线圈 | 第49页 |
| ·金属A1引线表面钝化层 | 第49页 |
| ·<111>择优取向的Au薄膜 | 第49页 |
| ·悬臂梁结构的形成和释放 | 第49-50页 |
| ·生物敏感材料固化和器件表面封闭 | 第50页 |
| ·金属Al线的钝化层 | 第50-51页 |
| ·自组装膜衬底制备 | 第51-53页 |
| ·DRIE和结构释放 | 第53-56页 |
| ·悬臂梁表面的封闭和生物素固化 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| 第四章 高阶弯曲谐振模态硅微机械悬臂梁生物传感器 | 第59-70页 |
| ·高阶弯曲模态微机械悬臂梁的设计 | 第59-64页 |
| ·弯曲模态的质量检测分辨率 | 第59-60页 |
| ·弯曲模态的压阻检测 | 第60-62页 |
| ·弯曲模态微机械悬臂梁的激励方式 | 第62-64页 |
| ·微机械悬臂梁的尺寸优化 | 第64页 |
| ·谐振悬臂梁的信号处理电路 | 第64-66页 |
| ·开环检测电路 | 第64页 |
| ·闭环检测电路 | 第64-66页 |
| ·微机械悬臂梁谐振特性测试 | 第66-68页 |
| ·开环测试 | 第66-67页 |
| ·闭环测试 | 第67-68页 |
| ·微机械悬臂梁生物物质敏感特性测试 | 第68-69页 |
| ·结论 | 第69-70页 |
| 第五章 扭转谐振模态硅微机械悬臂梁生物传感器 | 第70-86页 |
| ·扭转模态微机械悬臂梁的设计 | 第70-80页 |
| ·扭转模态的谐振频率 | 第70-71页 |
| ·扭转模态的质量检测灵敏度 | 第71-72页 |
| ·扭转模态悬臂梁的多自由度模型 | 第72-75页 |
| ·扭转模态的压阻检测 | 第75-76页 |
| ·扭转模态微机械悬臂梁的激励方式 | 第76-78页 |
| ·扭转模态微机械悬臂梁的优化 | 第78-80页 |
| ·谐振悬臂梁的信号处理电路 | 第80-81页 |
| ·开环检测电路 | 第80页 |
| ·闭环检测电路 | 第80-81页 |
| ·微机械悬臂梁谐振特性测试 | 第81-84页 |
| ·开环测试 | 第81-82页 |
| ·闭环测试 | 第82-84页 |
| ·微机械悬臂梁生物物质敏感特性测试 | 第84-85页 |
| ·结论 | 第85-86页 |
| 第六章 高阶谐振模态硅微机械悬臂梁激励方式的优化 | 第86-92页 |
| ·高阶弯曲模态微机械悬臂梁的设计 | 第86-87页 |
| ·品质因数测试结果和讨论 | 第87-91页 |
| ·结论 | 第91-92页 |
| 第七章 总结 | 第92-97页 |
| ·用于生化检测的谐振式微机械悬臂梁的基本性质 | 第92页 |
| ·谐振式微机械悬臂梁生物传感器关键制作工艺 | 第92-93页 |
| ·微机械悬臂梁的弯曲谐振模态和扭转谐振模态 | 第93-94页 |
| ·谐振模态的激励和检测 | 第94页 |
| ·微机械悬臂梁谐振电路 | 第94-96页 |
| ·信号统计分析算法 | 第96页 |
| ·今后的工作和展望 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-104页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文目录 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 个人简历 | 第106-107页 |
| 学位论文独创性声明 | 第107页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第107页 |