| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 综述 | 第8-28页 |
| ·纳米技术研究概况 | 第8-9页 |
| ·纳米测量技术的研究发展概况 | 第9-23页 |
| ·纳米测量技术研究的国内外现状 | 第10-12页 |
| ·目前能实现纳米测量的仪器和方法 | 第12-13页 |
| ·激光干涉仪用于纳米测量的重要性 | 第13页 |
| ·各种适合于纳米测量的激光干涉仪的光学测量原理介绍 | 第13-23页 |
| ·纳米测量待解决的问题 | 第23-25页 |
| ·课题要解决的实际问题和主要研究内容 | 第25-28页 |
| ·主课题相关情况说明 | 第25-26页 |
| ·本子课题要解决的实际问题和研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 2.5维激光干涉测长干涉仪总体方案 | 第28-40页 |
| ·国际上大范围多维纳米激光干涉测长光学测量方案 | 第28-38页 |
| ·2.5维大范围纳米激光干涉测长干涉仪光路 | 第31-38页 |
| ·2.5维大范围纳米激光干涉测长电路系统方案 | 第38-39页 |
| ·2.5维大范围纳米激光干涉测长测量软件方案 | 第39-40页 |
| 第三章 激光干涉仪硬件电路系统 | 第40-58页 |
| ·干涉信号放大及调理电路 | 第40-54页 |
| ·前置放大电路 | 第40-49页 |
| ·信号放大及调理电路 | 第49-54页 |
| ·干涉仪数字电路系统 | 第54-58页 |
| ·模拟信号AD变换及与DSP的接口电路 | 第54-55页 |
| ·位移方向识别及干涉条纹大数计数电路 | 第55-58页 |
| 第四章 干涉仪信号处理方法及软件 | 第58-80页 |
| ·干涉仪测量信号及误差分析 | 第58-64页 |
| ·矢量分析法 | 第58-62页 |
| ·一般数学计算方法 | 第62-64页 |
| ·干涉仪测量信号误差修正方法探讨 | 第64-72页 |
| ·离线误差修正方法(H法) | 第65-69页 |
| ·动态修正方法 | 第69-72页 |
| ·误差修正方法比较 | 第72页 |
| ·信号处理过程及测量软件分析 | 第72-80页 |
| ·信号处理过程 | 第72-74页 |
| ·实时位移计算 | 第74-80页 |
| 第五章 试验系统设计及试验分析 | 第80-94页 |
| ·试验系统设计 | 第80-83页 |
| ·信号发生系统 | 第80-82页 |
| ·双端口数据通信试验系统 | 第82页 |
| ·高精度多参数数码显示器 | 第82-83页 |
| ·系统试验及分析 | 第83-89页 |
| ·软件细分计算及AD系统精度实验 | 第83-84页 |
| ·电路系统噪声测试 | 第84-86页 |
| ·H方法与P方法的误差修正比较 | 第86-89页 |
| ·全系统精度估算 | 第89-94页 |
| ·不确定度分析数学模型 | 第90-91页 |
| ·不确定度估算 | 第91-94页 |
| 总结与展望 | 第94-96页 |
| 总结 | 第94-95页 |
| 展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 附录 (试验电路系统照片) | 第100-101页 |
| 致谢 | 第101页 |