MOS环振式数字加速度传感器研究

摘  要	第1-6页
ABSTRACT	第6-12页
第一章 前  言	第12-32页
·微传感器及MEMS技术简介	第12-20页
·MEMS技术的产生和发展	第13-14页
·MEMS的制造技术	第14-18页
·体硅加工技术	第15-16页
·表面微机械工艺	第16-17页
·晶片键合	第17-18页
·其他微机械加工工艺	第18页
·MEMS的设计技术	第18-19页
·MEMS的应用和发展前景	第19-20页
·微加速度传感器的研究进展	第20-30页
·加速度传感器的基本原理	第22-24页
·加速度传感器的分类	第24-27页
·几种加速度传感器实例	第27-30页
·本论文的研究目的、意义和主要内容	第30-32页
第二章 环振式加速度传感器的基本原理	第32-58页
·单晶硅和MOSFET的力敏效应	第32-38页
·单晶硅的力敏效应	第32-34页
·MOSFET的力敏特性	第34-38页
·MOS环形振荡器的力敏特性	第38-53页
·MOS环形振荡器的基本概念	第38-40页
·MOS环形振荡器的特性分析	第40-48页
·E/D NMOS环形振荡器	第40-44页
·E/D PMOS环形振荡器	第44-45页
·CMOS环形振荡器	第45-48页
·影响环形振荡器谐振频率的因素	第48-53页
·应力对环形振荡器谐振频率的影响	第49页
·温度对环形振荡器谐振频率的影响	第49-52页
·电源电压对环形振荡器谐振频率的影响	第52-53页
·环振式加速度传感器的基本原理	第53-55页
·混频器的基本原理	第55-57页
·小结	第57-58页
第三章 环振式加速度传感器的分析与设计	第58-80页
·加速度传感器机械结构设计	第58-68页
·加速度传感器机械结构的分析与设计	第58-61页
·加速度传感器机械结构的有限元分析	第61-68页
·环形振荡器的设计与仿真	第68-74页
·双栅MOS混频器的设计与仿真	第74-78页
·环振加速度传感器的模拟结果	第78页
·小结	第78-80页
第四章 环振式加速度传感器的工艺及版图设计	第80-101页
·环振式加速度传感器的工艺设计	第80-89页
·工艺流程设计	第80-83页
·离子注入设计	第83-84页
·工艺模拟和器件模拟	第84-89页
·环振式加速度传感器的版图设计	第89-100页
·设计规则的确定	第89-91页
·版图设计概述	第91-92页
·(100)硅在KOH腐蚀过程中的削角补偿	第92-98页
·凸角切削现象	第92-94页
·凸角补偿原理	第94-97页
·改进的凸角补偿技术	第97-98页
·实际版图介绍	第98-100页
·小结	第100-101页
第五章 关键工艺研究及加速度传感器的制作	第101-114页
·氮化硅膜淀积工艺	第101-102页
·KOH腐蚀工艺	第102-104页
·双面光刻工艺	第104-105页
·硅梁释放工艺	第105-106页
·干法刻蚀	第105-106页
·湿法刻蚀	第106页
·环振加速度传感器的工艺流程	第106-110页
·环振加速度传感器的试制结果	第110-113页
·小结	第113-114页
第六章 环振式加速度传感器的测试	第114-131页
·MOS晶体管测试	第114-116页
·环形振荡器的电路测试	第116-119页
·环形振荡器的力敏特性测试	第119-122页
·环振式加速度传感器的性能测试	第122-130页
·切比雪夫低通滤波器的分析与设计	第122-124页
·加速度传感器的特性测试	第124-130页
·环振加速度传感器的测试平台设计	第124-125页
·PMOS环振加速度传感器的性能测试	第125-128页
·NMOS环振加速度传感器的性能测试	第128-130页
·小结	第130-131页
第七章 总结	第131-134页
·论文工作的主要内容与研究成果	第131-132页
·论文工作的主要创新点	第132-133页
·对进一步研究工作的展望	第133-134页
参考文献	第134-140页
致谢及声明	第140-141页
附录 加速度传感器机械结构的有限元模拟结果	第141-149页
个人简介、在学期间的研究成果及发表的学术论文	第149-150页