| 第1章 绪论 | 第1-14页 |
| ·薄膜的分类与应用 | 第9-10页 |
| ·薄膜的发展历史 | 第9页 |
| ·薄膜的分类 | 第9-10页 |
| ·薄膜的应用 | 第10页 |
| ·Fe-O、Fe-N薄膜的研究现状 | 第10-12页 |
| ·Fe-O、Fe-N薄膜的制备方法、性能与应用 | 第10-11页 |
| ·Fe-O、Fe-N薄膜研究中存在的不足 | 第11-12页 |
| ·本论文研究的意义 | 第12-13页 |
| ·本论文研究的目的 | 第13-14页 |
| 第2章 镀膜用材料、设备及试验方法简介 | 第14-32页 |
| ·镀膜用靶材、衬底简介 | 第14-15页 |
| ·镀膜用设备及原理简介 | 第15-18页 |
| ·气体放电现象 | 第16-17页 |
| ·二极溅射原理 | 第17-18页 |
| ·Fe-O、Fe-N-O薄膜的制备工艺简介 | 第18-19页 |
| ·薄膜沉积的工艺流程 | 第18页 |
| ·薄膜沉积的工艺设计 | 第18-19页 |
| ·薄膜制备可行性的理论分析 | 第19-25页 |
| ·真空度的理论计算与分析 | 第19-23页 |
| ·薄膜的沉积过程分析 | 第23-25页 |
| ·薄膜形貌、成分与结构的分析方法简介 | 第25-27页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)的分析原理与方法 | 第25页 |
| ·X-ray光电子能谱(XPS)的分析原理与方法 | 第25-27页 |
| ·透射电子显微镜(TEM)的分析原理与方法 | 第27页 |
| ·薄膜性能的测试原理与方法 | 第27-32页 |
| ·薄膜光学透射率测试的原理与方法 | 第27-28页 |
| ·薄膜的方块电阻测试的原理与方法 | 第28-30页 |
| ·薄膜抗蚀性能的测试原理与方法 | 第30-32页 |
| 第3章 薄膜的形貌、成分与结构分析 | 第32-46页 |
| ·薄膜的形貌分析 | 第32-36页 |
| ·薄膜的宏观形貌分析 | 第32-35页 |
| ·薄膜的微观形貌分析 | 第35-36页 |
| ·薄膜成分测试的结果与分析 | 第36-41页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第41-46页 |
| 第4章 薄膜的光学性能测试与分析 | 第46-60页 |
| ·Fe-O、Fe-N-O薄膜的紫外可见光透射率研究 | 第46-51页 |
| ·未进行加热处理薄膜的透射率测试与分析 | 第46-48页 |
| ·热处理后薄膜的透射率测试与分析 | 第48-51页 |
| ·透射率与光学常数之间的关系 | 第51-60页 |
| ·薄膜光学性能的理论简述 | 第51-56页 |
| ·薄膜透射率与光学常数之间的关系推导 | 第56-57页 |
| ·薄膜光学常数的理论计算与分析 | 第57-60页 |
| 第5章 薄膜的电阻率与抗腐蚀性能的研究 | 第60-64页 |
| ·薄膜电阻率测试的结果与分析 | 第60-61页 |
| ·薄膜腐蚀试验的结果与分析 | 第61-64页 |
| 第6章 薄膜厚度的测定与理论模型的建立 | 第64-71页 |
| ·薄膜厚度的测定方法 | 第64页 |
| ·薄膜厚度的测定结果与分析 | 第64页 |
| ·薄膜厚度的理论分析 | 第64-71页 |
| ·建立模型的基本假设 | 第65页 |
| ·速率分布函数简介 | 第65-67页 |
| ·沉积过程中电流的物理解释 | 第67-70页 |
| ·理论值与实验值的比较 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 附录Ⅰ 关于Fe-O、Fe-N化合物的一些基本参数 | 第77-78页 |
| 附录Ⅱ 本论文所涉及到的一些物理常数 | 第78页 |