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CVD法F掺杂SnO2低辐射薄膜的制备、结构、性能及低辐射镀膜玻璃的产业化研究

第一章 引言第1-9页
第二章 文献综述第9-29页
 2.1 低辐射镀膜玻璃的发展第9-10页
 2.2 低辐射镀膜玻璃的节能原理第10-12页
 2.3 低辐射镀膜玻璃的节能性能表征第12-13页
 2.4 低辐射镀膜玻璃的分类第13-18页
  2.4.1 电介质/金属/电介质多层复合低辐射玻璃第13-16页
  2.4.2 半导体单层膜低辐射玻璃第16-18页
 2.5 低辐射镀膜玻璃制备技术第18-25页
  2.5.1 真空蒸镀法第18-19页
  2.5.2 溅射镀膜法第19-20页
  2.5.3 电浮法镀膜第20页
  2.5.4 热喷涂镀膜法第20-21页
  2.5.5 溶胶—凝胶(Sol-Gel)法镀膜第21-22页
  2.5.6 化学气相沉积镀膜法(CVD)第22-24页
  2.5.7 浮法玻璃在线镀膜技术第24-25页
 2.6 产业关联度分析和市场前景第25-27页
 2.7 选题角度的确定第27-29页
第三章 常压热分解CVD法F掺杂SnO_2透明导电薄膜制备第29-37页
 3.1 原料体系的确定第29-30页
 3.2 实验装置第30-31页
 3.3 试样制备过程第31-32页
 3.4 测试方法第32-37页
  3.4.1 薄膜成分的测定第32-34页
  3.4.2 薄膜结构的测定第34-35页
  3.4.3 薄膜厚度的测定第35页
  3.4.4 薄膜表面形貌的测定第35-36页
  3.4.5 薄膜电阻率的测定第36页
  3.4.6 薄膜中远红外反射率的测定第36-37页
第四章 结果与讨论第37-61页
 4.1 F掺杂SnO_2薄膜的结构与组成第37-38页
 4.2 制备工艺对薄膜结构性能的影响第38-42页
  4.2.1 基板温度对薄膜结构性能的影响第38-40页
  4.2.2 F掺杂量对薄膜结构性能的影响第40-41页
  4.2.3 催化剂(H_2O)用量对薄膜电性能的影响第41-42页
 4.3 薄膜光学性能第42页
 4.4 退火处理对薄膜电性能的影响第42-44页
 4.5 讨论第44-45页
 4.6 小结第45-61页
第五章 SnO_2低辐射镀膜玻璃的产业化研究第61-72页
 5.1 引言第61页
 5.2 在线镀膜工艺半工业化试验第61-64页
 5.3 产品结构性能第64-67页
 5.4 结论第67-72页
第六章 结论第72-74页
参考文献第74-78页
致谢第78页

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