| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·论文的研究背景 | 第10-11页 |
| ·微细加工技术概况 | 第11-13页 |
| ·传统微细加工技术 | 第12页 |
| ·特种微细加工技术 | 第12-13页 |
| ·电解加工的产生、特点及研究现状 | 第13-18页 |
| ·电解加工的产生 | 第13页 |
| ·电解加工的特点 | 第13-14页 |
| ·电解加工的发展研究概况 | 第14-18页 |
| ·超声电解复合微细加工研究概况 | 第18页 |
| ·本论文选题依据及研究主要内容 | 第18-20页 |
| ·选题依据 | 第18-20页 |
| ·研究主要内容 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 超声频振动复合脉冲电解微精加工机理 | 第21-37页 |
| ·超声加工原理 | 第21-24页 |
| ·微细超声加工的特点 | 第21-22页 |
| ·超声加工的工艺规律 | 第22-24页 |
| ·电解加工原理 | 第24-30页 |
| ·微细电解加工的可行性 | 第25-26页 |
| ·影响微细电解加工的主要因素 | 第26-30页 |
| ·脉冲电流电解加工 | 第30-31页 |
| ·超声频振动复合脉冲电解微精加工 | 第31-36页 |
| ·可行性分析 | 第31-32页 |
| ·超声频振动复合脉冲电解微精加工机理 | 第32-33页 |
| ·超声频振动复合同步脉冲电解微精加工机理探讨 | 第33-34页 |
| ·超声频振动对微电流电解的影响 | 第34-35页 |
| ·超声频振动复合脉冲电解微精加工的技术优势 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 超声频振动复合脉冲电解微精加工试验系统构建 | 第37-51页 |
| ·超声频振动复合脉冲电解微精加工的工艺要求 | 第37页 |
| ·超声频振动复合脉冲电解微精加工系统构建 | 第37-43页 |
| ·超声频振动单元 | 第39-41页 |
| ·工作台进给运动单元 | 第41页 |
| ·电解加工单元 | 第41-42页 |
| ·加工参数测量分析单元 | 第42-43页 |
| ·加工精度测量 | 第43页 |
| ·超声频振动复合同步脉冲电解微精加工系统构建 | 第43-50页 |
| ·同步方案 | 第43-44页 |
| ·同步系统构建 | 第44-45页 |
| ·两种同步方式调制电路的探讨研究 | 第45-48页 |
| ·采用“高速Li—CCD”激光微位移传感器加电同步方法 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 加工试验及结果分析 | 第51-73页 |
| ·试验参数选择 | 第52-55页 |
| ·试验件材料 | 第52-53页 |
| ·工作液 | 第53-54页 |
| ·阴极工具头超声频振动频率及振幅 | 第54页 |
| ·脉冲电源参数 | 第54-55页 |
| ·进给压力 | 第55页 |
| ·试验方案 | 第55-56页 |
| ·微细阴极工具头的设计与制作 | 第56-60页 |
| ·阴极工具头工作要求 | 第56-57页 |
| ·制作圆形微凸起工具阴极 | 第57-58页 |
| ·正方形、菱形微凸起工具阴极的设计与制作 | 第58-59页 |
| ·内齿轮、齿轮轴工具阴极的设计与制作 | 第59-60页 |
| ·单一超声微细加工试验 | 第60-62页 |
| ·微细孔成形试验 | 第60-61页 |
| ·阵列菱形微凹坑单一超声加工试验 | 第61页 |
| ·试验结果分析 | 第61-62页 |
| ·超声频振动影响微细电解过程机理研究 | 第62-67页 |
| ·试验装置及条件 | 第62-63页 |
| ·电解钝化 | 第63页 |
| ·超声频振动消除电解钝化 | 第63-64页 |
| ·三种加工方式电流流密度与加工效率比较 | 第64-67页 |
| ·超声频振动复合脉冲电解微精加工方法的深入试验研究 | 第67-70页 |
| ·电压对复合加工效果的影响 | 第67-70页 |
| ·电解液质量分数对复合加工效果的影响 | 第70页 |
| ·超声频振动复合同步电解微精加工初步试验研究 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·工作总结 | 第73页 |
| ·工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第80页 |
