| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-15页 |
| ·课题研究意义及重要性 | 第12页 |
| ·多晶硅生产DCS控制系统应用及研究现状 | 第12-13页 |
| ·多晶硅生产系统的特点 | 第12-13页 |
| ·DCS控制系统在多晶硅生产控制中的应用与发展 | 第13页 |
| ·论文主要工作及结构安排 | 第13-15页 |
| 第二章 多晶硅生产工艺流程及控制需求 | 第15-24页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·多晶硅生产工艺流程 | 第15-21页 |
| ·氯化氢(HCL)合成 | 第15-16页 |
| ·三氯氢硅(TCS)合成工段 | 第16-17页 |
| ·三氯氢硅(TCS)精馏 | 第17-19页 |
| ·还原氢化 | 第19-21页 |
| ·辅助工段简述 | 第21页 |
| ·多晶硅生产过程的控制需求及系统选型 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 多晶硅生产DCS控制系统总体设计 | 第24-32页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·控制系统基本结构 | 第24-25页 |
| ·多晶硅生产DCS系统开发平台SIMATIC PCS7 | 第25-29页 |
| ·典型DCS系统配置 | 第26-27页 |
| ·ES工程师站(Engineer Station) | 第27-28页 |
| ·AS自动化站(Automation Station) | 第28-29页 |
| ·OS操作员站(Operator Station) | 第29页 |
| ·项目总体框架 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 多晶硅生产DCS控制系统硬件设计 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·机柜设计 | 第32-37页 |
| ·自动化站电源配电柜 | 第32-33页 |
| ·自动化站主机柜 | 第33-36页 |
| ·自动化站I/O卡件柜 | 第36-37页 |
| ·带冗余功能的I/O端硬件电路设计 | 第37-41页 |
| ·冗余AI模块电路设计 | 第38页 |
| ·冗余AO模块电路设计 | 第38-39页 |
| ·冗余DI模块电路设计 | 第39-40页 |
| ·冗余DO模块电路设计 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 多晶硅生产典型控制回路组态及数据归档 | 第42-55页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·切断阀/开关马达控制回路设计 | 第42-46页 |
| ·阀门/马达控制基本功能 | 第42-43页 |
| ·功能模块中的阀门/马达控制 | 第43-46页 |
| ·PID调节控制回路设计 | 第46-49页 |
| ·单回路PlD控制 | 第46-47页 |
| ·复杂PID回路控制 | 第47-49页 |
| ·上位机数据归档和历史显示 | 第49-53页 |
| ·过程变量历史数据的归档 | 第50-52页 |
| ·过程变量的历史趋势 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 多晶硅生产专用设备模块开发 | 第55-70页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·液氯出料设备模块Transout_50 | 第55-62页 |
| ·设备模块Transout_50的设计原理 | 第55-56页 |
| ·设备模块Transout_50功能详述 | 第56-59页 |
| ·设备模块Transout_50的开发与调试 | 第59-62页 |
| ·生产车间进料设备模块Transin_21 | 第62-69页 |
| ·设备模块Transin_21的设计原理 | 第62-63页 |
| ·设备模块Transin_21功能详述 | 第63-65页 |
| ·设备模块Transin_21的开发与调试 | 第65-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第七章 多晶硅生产原料传输管道接驳系统通讯功能开发 | 第70-80页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·管道系统结构及工艺需求 | 第70-72页 |
| ·管道接驳系统功能需求 | 第70-71页 |
| ·控制系统构成 | 第71-72页 |
| ·管道接驳系统功能开发 | 第72-77页 |
| ·自动化站(AS站)通讯 | 第72-75页 |
| ·原料信息数据库的访问 | 第75-77页 |
| ·管道接驳系统功能实现 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第八章 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·总结 | 第80页 |
| ·展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 附录一 原料传输管道接驳系统数据库查询VBS脚本 | 第87-91页 |
| 附录二 系统现场调试过程及结果 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 攻读硕士期间参加的项目及发表的论文 | 第94页 |
