| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-13页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 压阻式硅微压力传感器的工作原理 | 第13-19页 |
| ·硅的压阻效应 | 第13-15页 |
| ·工作原理 | 第15-16页 |
| ·性能分析 | 第16-17页 |
| ·微压化 | 第17-19页 |
| 第三章 感压薄膜力学分析 | 第19-32页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·平膜结构 | 第19-27页 |
| ·小挠度模型 | 第19-25页 |
| ·大挠度模型 | 第25-27页 |
| ·岛膜结构 | 第27-30页 |
| ·电阻条位置的确定 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第四章 感压薄膜的动力学分析 | 第32-36页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·动力学分析 | 第32-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第五章 传感器的动态特性 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·传感器动态特性的分析方法及主要指标 | 第36-39页 |
| ·时域动态性能指标 | 第36-37页 |
| ·频域动态性能指标 | 第37-39页 |
| ·动态误差及无失真动态测试条件 | 第39-41页 |
| ·动态误差的定义 | 第39-40页 |
| ·无失真动态测试条件 | 第40-41页 |
| ·传感器的数学模型 | 第41-42页 |
| ·传感器的数学模型的辨识 | 第42-46页 |
| ·系统辨识 | 第42-43页 |
| ·特殊白化滤波器的广义二乘迭代法(GLS(SM)) | 第43-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第六章 动态补偿理论 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·动态补偿技术原理 | 第48-49页 |
| ·动态补偿器设计 | 第49-55页 |
| ·零极点相消法 | 第49-51页 |
| ·零极点配置法 | 第51-53页 |
| ·系统辨识法 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第七章 压力传感器的动态校准实验 | 第57-59页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·动态校准技术的现状 | 第57-59页 |
| ·存在的问题 | 第57-58页 |
| ·动态校准装置 | 第58-59页 |
| 第八章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 硕士在读期间发表论文 | 第64页 |