| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究背景及国内外发展情况 | 第7-10页 |
| ·课题来源及本文的主要工作 | 第10-11页 |
| 第二章 微结构的静电力计算 | 第11-19页 |
| ·微结构的静电计算概述 | 第11页 |
| ·平行板电容的静电力的计算 | 第11-13页 |
| ·无限大平行板电容静电力计算 | 第11-12页 |
| ·矩形、圆形平行板电容的静电力的计算 | 第12-13页 |
| ·倾斜极板间的静电力和静电力矩的计算 | 第13-14页 |
| ·梳齿结构的静电力计算 | 第14-16页 |
| ·电容式微加速度计检测原理 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 微结构的阻尼特性 | 第19-23页 |
| ·传统雷诺方程 | 第19-21页 |
| ·考虑气体可压缩性的矩形平板的压膜阻尼 | 第21-23页 |
| 第四章 微机械加速度计的工作原理及理想的数学模型 | 第23-37页 |
| ·加速度计工作原理 | 第23页 |
| ·加速度计的基本数学模型 | 第23-33页 |
| ·线加速度计的基本数学模型 | 第23-24页 |
| ·摆式加速度计的基本数学模型 | 第24-26页 |
| ·开环微机械加速度计的数学模型 | 第26-27页 |
| ·闭环微机械加速度计的数学模型 | 第27-33页 |
| ·考虑电容的边缘效应的微机械加速度计建模 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第五章 硅微加速度计考虑零位偏移影响因素的建模与分析 | 第37-71页 |
| ·弹性微梁对微机械加速度计零位状态的影响 | 第37-53页 |
| ·梁的形状的选取 | 第37-39页 |
| ·梁的模态分析 | 第39-44页 |
| ·弹性微梁对加速度计检测的影响 | 第44-46页 |
| ·折叠梁的刚度对加速度计检测的影响 | 第46-48页 |
| ·弹性微梁不同方向上自由度耦合对微加速度计零位状态的影响 | 第48-51页 |
| ·折叠梁刚度的计算 | 第51-53页 |
| ·加工误差对微机械加速度计零位状态的影响 | 第53-55页 |
| ·检测电路对微机械加速度计零位状态的影响 | 第55-60页 |
| ·电荷敏感差分检测电路 | 第55-57页 |
| ·双采样技术的检测电路 | 第57-60页 |
| ·微机械加速度计的热噪声对零位状态的影响 | 第60-62页 |
| ·微机械加速度计的机械热噪声 | 第60-61页 |
| ·微机械加速度计的电路热噪声 | 第61页 |
| ·降低微机械加速度计的热噪声的措施 | 第61-62页 |
| ·微加速度计动态阻尼特性分析 | 第62-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 在读期间研究成果 | 第77-78页 |