微细电解加工用阵列电极的侧壁绝缘研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·微细电解加工相关技术的研究与发展 | 第10-15页 |
| ·绝缘掩膜处理工件 | 第10-11页 |
| ·钝性（非线性）电解液 | 第11-12页 |
| ·超短脉冲加工电流 | 第12-13页 |
| ·侧壁绝缘工具电极 | 第13-14页 |
| ·微细阵列型孔加工工艺路线 | 第14-15页 |
| ·微细电极侧壁绝缘方法及其研究现状 | 第15-18页 |
| ·CVD 技术 | 第15-16页 |
| ·浸渍提拉绝缘树脂 | 第16-17页 |
| ·滴涂瓷釉 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 微细阵列电极的侧壁绝缘方案及其可行性验证 | 第19-33页 |
| ·微细阵列电极 | 第19-24页 |
| ·工艺路线 | 第19-21页 |
| ·制备结果 | 第21-24页 |
| ·侧壁绝缘方案 | 第24-30页 |
| ·方法分析评价 | 第24-28页 |
| ·方案设计 | 第28-30页 |
| ·方案可行性验证 | 第30-32页 |
| ·实验原理 | 第30页 |
| ·结果与分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 旋涂法的工艺优化 | 第33-50页 |
| ·旋涂工艺专用夹具 | 第33-37页 |
| ·设计要求 | 第33-35页 |
| ·微细单电极夹具 | 第35-36页 |
| ·微细阵列电极夹具 | 第36-37页 |
| ·旋涂工艺优化 | 第37-47页 |
| ·各因素正交试验 | 第37-43页 |
| ·甩胶时间 | 第43-46页 |
| ·涂膜次数 | 第46-47页 |
| ·电极的侧壁绝缘及绝缘性、耐久性测试 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 采用侧壁绝缘电极的微孔电解加工实验 | 第50-64页 |
| ·微孔加工实验用平台及加工流程简介 | 第50-54页 |
| ·装置本体及数控系统 | 第50-52页 |
| ·微孔加工控制及流程 | 第52-54页 |
| ·侧壁绝缘单电极的微孔加工实验 | 第54-58页 |
| ·侧壁绝缘阵列电极的微孔加工实验 | 第58-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 侧壁绝缘工艺的改进及微细型孔加工实验 | 第64-83页 |
| ·侧壁绝缘工艺的改进 | 第64-73页 |
| ·甩胶方式 | 第64-66页 |
| ·环氧树脂液配方、固化工艺 | 第66页 |
| ·涂膜次数 | 第66-72页 |
| ·侧壁绝缘性验证 | 第72-73页 |
| ·微细单孔电解加工实验 | 第73-75页 |
| ·单孔加工 | 第73-74页 |
| ·3×3 阵列孔加工 | 第74页 |
| ·深孔加工 | 第74-75页 |
| ·微细阵列型孔电解加工实验 | 第75-80页 |
| ·电极侧壁绝缘对微细电解加工精度影响的分析 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第6章 结论 | 第83-86页 |
| ·研究总结 | 第83-84页 |
| ·对本研究工作的展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第90页 |
