飞秒激光双光子微细加工工艺及实验研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-22页 |
| ·选题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-20页 |
| ·双光子微细加工原理及其发展过程 | 第9-12页 |
| ·双光子微细加工技术研究进展 | 第12-20页 |
| ·论文内容 | 第20-22页 |
| 第2章 双光子微细加工系统设计与构建 | 第22-44页 |
| ·双光子微细加工系统总体方案 | 第22-27页 |
| ·双光子微细加工原理 | 第22-26页 |
| ·双光子微细加工系统组成 | 第26-27页 |
| ·双光子微细加工实验系统构建 | 第27-32页 |
| ·曝光扫描系统的选择 | 第27-29页 |
| ·样品三维扫描式系统 | 第28页 |
| ·焦点平面+样品垂直扫描式系统 | 第28-29页 |
| ·双工子微细加工系统的硬件组成 | 第29-31页 |
| ·已有双工子微细加工系统存在的不足 | 第31-32页 |
| ·双光子微细加工系统布局重构与设计 | 第32-40页 |
| ·已有双工子微细加工系统的改进及技术方案设计 | 第32-33页 |
| ·新的双光子微细加工系统结构布局设计与构建 | 第33-40页 |
| ·技术方案及其实施 | 第33-35页 |
| ·相关零件选型及设计 | 第35-38页 |
| ·曝光系统总体装配 | 第38-40页 |
| ·M511.DG+H101 平台运动控制系统 | 第40-43页 |
| ·电气系统设计 | 第41-42页 |
| ·运动控制系统软件设计 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 双光子微细加工工艺实验与分析 | 第44-64页 |
| ·加工工艺流程及工艺改进措施 | 第44-47页 |
| ·双光子微细加工的基本加工单元 | 第47-54页 |
| ·加工分辨率影响因素理论分析 | 第47-49页 |
| ·加工分辨率实验 | 第49-52页 |
| ·讨论 | 第52-54页 |
| ·平面成型加工 | 第54-60页 |
| ·三维实体加工 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 双光子吸收还原金属离子的实验研究 | 第64-75页 |
| ·双光子吸收还原金属离子的基本原理 | 第64-66页 |
| ·Ag/PVP 凝胶的制备及初步加工实验 | 第66-72页 |
| ·Ag/PVP 凝胶的制备 | 第66-67页 |
| ·初步加工实验 | 第67-68页 |
| ·工艺探讨 | 第68-72页 |
| ·导电性验证实验 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 结论 | 第75-78页 |
| ·研究工作总结 | 第75-76页 |
| ·主要结论 | 第76页 |
| ·后续研究展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第83页 |
