脉冲调制磁化容性耦合射频放电中Ar~+光谱特性研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-23页
·低温等离子体	第8-18页
·低温等离子体的产生	第10-15页
·低温等离子体的应用	第15-18页
·射频等离子体	第18-20页
·射频容性耦合等离子体	第18-19页
·射频感性耦合等离子体	第19-20页
·课题的研究背景和意义	第20-22页
·文章的研究内容和结构安排	第22-23页
2 等离子体参数诊断	第23-33页
·等离子体参数诊断的种类	第23-27页
·探针法	第23-25页
·光谱法	第25-26页
·质谱法	第26页
·激光法	第26-27页
·电子激发温度的发射光谱诊断	第27-33页
·电子激发温度	第28页
·发射光谱诊断	第28-30页
·电子激发温度的发射光谱诊断	第30-33页
3 实验装置及原理介绍	第33-37页
·实验装置介绍	第33-36页
·脉冲调制原理	第36-37页
4 实验结果与分析	第37-59页
·永久磁铁置于放电室两侧Ar~(+)光谱特性	第37-49页
·电子激发温度的变化规律	第37-43页
·相对强度的变化规律	第43-49页
·永久磁铁置于放电室上下面Ar~+光谱特性	第49-57页
·电子激发温度的变化规律	第49-53页
·相对强度的变化规律	第53-57页
·两种情况结果对比分析	第57-59页
结论	第59-61页
参考文献	第61-65页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第65-66页
致谢	第66-67页