基于激光干涉传感的二维运动平台研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·本课题研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外相关技术发展现状 | 第9-13页 |
| ·二维运动平台概述 | 第9页 |
| ·运动平台发展现状 | 第9-12页 |
| ·位移传感检测技术发展现状 | 第12-13页 |
| ·本文主要研究内容安排 | 第13-14页 |
| 第2章 二维运动平台总体设计 | 第14-21页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·位移传感方式选择 | 第14-15页 |
| ·驱动方式选择 | 第15页 |
| ·支撑方式选择 | 第15-16页 |
| ·平台机械结构设计 | 第16-20页 |
| ·总体结构形式 | 第17页 |
| ·受力分析 | 第17-19页 |
| ·抗振分析 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 激光干涉位移传感系统设计 | 第21-34页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·迈克尔逊干涉光路简介 | 第21-22页 |
| ·激光干涉传感系统光路设计 | 第22-30页 |
| ·设计思想 | 第22-23页 |
| ·关键问题 | 第23-26页 |
| ·光路分析 | 第26-30页 |
| ·细分卡选择及信号调理电路设计 | 第30-33页 |
| ·细分卡选择 | 第31页 |
| ·信号跟随电路 | 第31页 |
| ·消除直流分量电路 | 第31-32页 |
| ·放大滤波电路 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 空气静压轴承设计 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·空气轴承基础 | 第34-36页 |
| ·空气轴承分类及比较 | 第34-35页 |
| ·空气静压轴承系统组成 | 第35页 |
| ·空气静压轴承边界条件方程 | 第35-36页 |
| ·空气静压轴承刚度计算方程 | 第36页 |
| ·空气静压轴承结构设计 | 第36-38页 |
| ·空气静压轴承性能CFD 仿真 | 第38-45页 |
| ·轴承气膜仿真前处理 | 第39-41页 |
| ·仿真结果分析 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 实验与分析 | 第46-54页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·单轴运动平台搭建 | 第46-47页 |
| ·单轴平台实验 | 第47-51页 |
| ·干涉传感系统信号测试 | 第47-48页 |
| ·激光干涉传感系统测试 | 第48-51页 |
| ·误差分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
