激光剪切干涉准直系统的设计研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·剪切干涉简介 | 第8-10页 |
| ·剪切干涉技术的出现 | 第8页 |
| ·波前横向剪切干涉的特点 | 第8-9页 |
| ·剪切干涉技术在测量中的应用 | 第9-10页 |
| ·准直技术概述 | 第10-13页 |
| ·准直技术的应用 | 第10-11页 |
| ·激光准直技术分类 | 第11-12页 |
| ·激光准直技术的国内外发展现状 | 第12-13页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 系统工作原理与总体结构 | 第15-26页 |
| ·剪切干涉原理 | 第15-16页 |
| ·系统测量原理 | 第16-20页 |
| ·测量原理 | 第16-17页 |
| ·条纹移动量与相对高度值的数学关系 | 第17-18页 |
| ·四路光电信号相位关系 | 第18页 |
| ·干涉条纹和硅光电池的宽度对应关系 | 第18-20页 |
| ·系统总体结构 | 第20-25页 |
| ·光源部分 | 第21-23页 |
| ·接收器件 | 第23-24页 |
| ·信号检测及处理部分 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 光学部分的设计 | 第26-30页 |
| ·单平板剪切干涉中的重要关系式 | 第26-27页 |
| ·平面波条纹宽度 | 第26页 |
| ·剪切量表达式 | 第26-27页 |
| ·准平行光的波面曲率 | 第27页 |
| ·楔形平板的参数设计 | 第27-29页 |
| ·楔形平板的参数要求 | 第27-29页 |
| ·楔形平板关键尺寸设计 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 硬件部分的设计 | 第30-39页 |
| ·信号处理子系统 | 第30-34页 |
| ·信号处理子系统 | 第31页 |
| ·滤波电路 | 第31-33页 |
| ·电源转换电路 | 第33-34页 |
| ·数据采集部分 | 第34-37页 |
| ·数据采集简介 | 第34-35页 |
| ·元件布局 | 第35-36页 |
| ·AD 模拟量输入功能 | 第36页 |
| ·信号连接方式 | 第36-37页 |
| ·AD 连续采集 | 第37页 |
| ·微型计算机 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 测量软件及算法设计 | 第39-51页 |
| ·测量软件总体流程 | 第39页 |
| ·软件系统设计 | 第39-47页 |
| ·设备初始化 | 第39-42页 |
| ·数据采集 | 第42-46页 |
| ·数据处理 | 第46-47页 |
| ·用户界面 | 第47页 |
| ·算法设计 | 第47-50页 |
| ·幅值计算 | 第48-49页 |
| ·单路信号相位差θ | 第49页 |
| ·相邻信号相位差α | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第6章 测量实验与误差分析 | 第51-70页 |
| ·仪器性能测试实验 | 第51-63页 |
| ·系统标定实验 | 第51-53页 |
| ·分辨力实验 | 第53-54页 |
| ·稳定性实验 | 第54-56页 |
| ·重复性实验 | 第56-58页 |
| ·线性度实验 | 第58-59页 |
| ·抗干扰实验 | 第59-61页 |
| ·长距离实测实验 | 第61-63页 |
| ·直线度测量应用试验 | 第63-66页 |
| ·导轨直线度测量及评定 | 第63-64页 |
| ·应用实测实验 | 第64-66页 |
| ·测量误差分析 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 总结与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
