| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·激光跟踪系统的概念 | 第8-11页 |
| ·三角法坐标测量系统 | 第8-9页 |
| ·多边法坐标测量系统 | 第9-10页 |
| ·球坐标测量系统 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-18页 |
| ·课题研究目的和内容 | 第18-20页 |
| 第二章 激光跟踪坐标测量系统设计 | 第20-27页 |
| ·系统测量原理 | 第20-21页 |
| ·激光跟踪系统总体设计 | 第21-27页 |
| ·激光干涉仪 | 第22页 |
| ·干涉测长光路 | 第22-23页 |
| ·目标镜 | 第23-24页 |
| ·激光跟踪头 | 第24-25页 |
| ·信号采集与处理部分 | 第25页 |
| ·跟踪控制部分 | 第25-27页 |
| 第三章 信号采集处理部分硬件设计 | 第27-41页 |
| ·激光跟踪工作原理 | 第27-28页 |
| ·光电位置探测器PSD | 第28-34页 |
| ·PSD的工作原理 | 第29-31页 |
| ·影响PSD特性的因素及解决措施 | 第31-33页 |
| ·背景光引起的测量误差推导过程 | 第33-34页 |
| ·信号采集部分及各模块设计 | 第34-41页 |
| ·PSD信号转换放大模块 | 第35-36页 |
| ·A/D转换模块 | 第36-38页 |
| ·FPGA信号处理模块 | 第38-41页 |
| 第四章 跟踪控制部分硬件设计 | 第41-56页 |
| ·电机选型和参数 | 第41-44页 |
| ·电机类型选择 | 第41页 |
| ·具体参数计算与型号选择 | 第41-44页 |
| ·光栅尺 | 第44-47页 |
| ·光栅尺选型需考虑的问题 | 第44-45页 |
| ·英国雷尼绍（Renishaw）RESR圆光栅 | 第45-46页 |
| ·RGH20 读数头 | 第46-47页 |
| ·跟踪控制部分及各模块设计 | 第47-56页 |
| ·电源模块 | 第48页 |
| ·时钟模块 | 第48-50页 |
| ·CPU处理模块 | 第50-51页 |
| ·光栅信号处理模块 | 第51-52页 |
| ·FPGA接口模块 | 第52-53页 |
| ·D/A模块 | 第53-54页 |
| ·网口通讯模块 | 第54-56页 |
| 第五章 系统软件设计 | 第56-61页 |
| ·AD信号读入Rd_AD9238 | 第57-58页 |
| ·坐标计算Calculate | 第58-59页 |
| ·DA模块的并行转串行输出Parallel_to_serial | 第59-61页 |
| 第六章 实验及结果分析 | 第61-74页 |
| ·PSD位置检测电路的线性实验 | 第61-67页 |
| ·X方向正负运动2mm的线性实验 | 第61-64页 |
| ·Y方向正负运动2mm的线性实验 | 第64-67页 |
| ·激光头距离PSD的远近对PSD输出结果的影响 | 第67-68页 |
| ·重复性实验 | 第68-70页 |
| ·干涉滤光片对比实验 | 第70-74页 |
| 第七章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·工作总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |