| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-21页 |
| ·低温等离子体概述 | 第10-12页 |
| ·等离子体分类 | 第10页 |
| ·低温等离子体的研究背景和意义 | 第10-12页 |
| ·低温等离子体的产生 | 第12页 |
| ·射频等离子体放电种类 | 第12-17页 |
| ·射频容性耦合等离子体放电 | 第12-13页 |
| ·螺旋波等离子体放电 | 第13-14页 |
| ·感性耦合等离子体放电 | 第14-15页 |
| ·双频容性耦合感应等离子体 | 第15-17页 |
| ·容性耦合等离子体研究现状 | 第17-20页 |
| ·本文研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 容性耦合等离子体发生装置及诊断技术 | 第21-36页 |
| ·射频容性耦合等离子体发生装置 | 第21-24页 |
| ·容性耦合等离子体腔 | 第21-22页 |
| ·射频匹配网络 | 第22-24页 |
| ·等离子体的郎谬尔探针诊断技术 | 第24-30页 |
| ·静电探针的结构与类型 | 第24页 |
| ·朗缪尔探针的使用条件 | 第24-25页 |
| ·朗缪尔单探针的工作原理 | 第25页 |
| ·由朗缪尔探针伏安特性曲线获得等离子体参数的方法 | 第25-27页 |
| ·探针诊断等离子体参量数的计算方法 | 第27-30页 |
| ·等离子体的发射光谱法诊断技术 | 第30-36页 |
| ·发射光谱在等离子体诊断中的应用 | 第30-31页 |
| ·等离子体发射光谱发诊断原理 | 第31-32页 |
| ·等离子体的发射光谱法诊断装置 | 第32-34页 |
| ·发射光谱法测定电子空间分布的理论 | 第34-36页 |
| 第三章 容性耦合等离子体均匀性的理论基础 | 第36-41页 |
| ·传统的低温等离子体理论 | 第36-37页 |
| ·容性耦合等离子体的相关模型 | 第37-39页 |
| ·等离子体电磁模式 | 第37-38页 |
| ·容性耦合等离子体非线性传输线模式 | 第38-39页 |
| ·容性耦合等离子体的相关效应 | 第39-41页 |
| ·等离子体驻波效应 | 第39页 |
| ·等离子体表面波趋肤效应 | 第39-40页 |
| ·等离子体电报效应 | 第40-41页 |
| 第四章 容性耦合Ar 等离子体光谱线强度的径向分布 | 第41-50页 |
| ·激发频率对容性耦合等离子体发射光谱强度径向分布的影响 | 第41-43页 |
| ·气压对容性耦合等离子体发射强度的径向分布的影响 | 第43-46页 |
| ·射频功率对容性耦合等离子体发射强度径向分布的影响 | 第46-47页 |
| ·实验结果分析 | 第47-50页 |
| 第五章 容性耦合等离子体的朗谬尔探针测量 | 第50-55页 |
| ·容性耦合等离子体的离子径向分布 | 第50-52页 |
| ·容性耦合等离子体的离子通量径向分布 | 第52-53页 |
| ·容性耦合等离子体的电子密度径向分布 | 第53-55页 |
| 第六章 总结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士研究生过程中发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
