中文摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第一章 绪论 | 第9-24页 |
1.1 引言 | 第9页 |
1.2 TFT器件概述 | 第9-17页 |
1.2.1 TFT器件结构 | 第9-11页 |
1.2.2 TFT器件工作原理 | 第11-12页 |
1.2.3 TFT器件性能表征 | 第12-14页 |
1.2.4 TFT器件发展现状 | 第14-17页 |
1.3 喷墨打印技术概述 | 第17-22页 |
1.3.1 喷墨打印简介 | 第17-18页 |
1.3.2 喷墨打印技术种类 | 第18-21页 |
1.3.3 喷墨打印在平板显示中的应用与发展 | 第21-22页 |
1.4 本课题的研究意义和内容 | 第22-24页 |
1.4.1 本课题的研究意义 | 第22页 |
1.4.2 本课题研究的主要内容 | 第22-24页 |
第二章 喷墨打印IGZO墨水的制备与性能调控 | 第24-35页 |
2.1 引言 | 第24页 |
2.2 IGZO墨水的制备 | 第24-26页 |
2.2.1 前驱物和溶剂的选取 | 第24-25页 |
2.2.2 制备过程 | 第25-26页 |
2.3 IGZO墨水的性能指标及其表征 | 第26-28页 |
2.3.1 粘度 | 第26-27页 |
2.3.2 表面张力 | 第27-28页 |
2.4 喷墨打印的控制与调节 | 第28-31页 |
2.4.1 喷墨打印设备 | 第28-29页 |
2.4.2 喷墨打印实验过程 | 第29-30页 |
2.4.3 墨滴的形成与调控 | 第30-31页 |
2.5 墨水稳定性的研究 | 第31-34页 |
2.5.1 墨水存放时间对墨滴稳定性的影响 | 第31-33页 |
2.5.2 打印过程中喷墨暂停时间对墨滴稳定性的影响 | 第33-34页 |
2.6 本章小结 | 第34-35页 |
第三章 IGZO-TFT器件喷墨打印工艺及性能研究 | 第35-48页 |
3.1 引言 | 第35页 |
3.2 墨滴的干燥过程 | 第35-37页 |
3.2.1 “咖啡环”效应的产生原理 | 第35-36页 |
3.2.2 抑制“咖啡环”效应的方法 | 第36-37页 |
3.3 器件制备过程 | 第37-39页 |
3.3.1 实验材料及仪器 | 第37-38页 |
3.3.2 器件制备 | 第38-39页 |
3.4 IGZO薄膜均匀性调控及表征 | 第39-43页 |
3.4.1 基片温度对IGZO薄膜均匀性的影响 | 第39-41页 |
3.4.2 前驱体溶液浓度对IGZO薄膜均匀性的影响 | 第41-43页 |
3.5 IGZO-TFT的电学性能测试 | 第43-47页 |
3.5.1 IGZO薄膜厚度对TFT器件性能的影响 | 第43-45页 |
3.5.2 IGZO薄膜退火温度对TFT器件性能的影响 | 第45-47页 |
3.6 本章小结 | 第47-48页 |
第四章 喷墨打印ZnO基TFT的低温工艺研究 | 第48-60页 |
4.1 引言 | 第48页 |
4.2 IGZO-TFT器件激光退火处理 | 第48-49页 |
4.3 IGZO薄膜形貌与结构表征 | 第49-51页 |
4.3.1 激光退火对薄膜表面形貌的影响 | 第49-50页 |
4.3.2 激光退火对薄膜结构的影响 | 第50-51页 |
4.4 IGZO-TFT的电学性能测试 | 第51-55页 |
4.4.1 脉冲激光能量密度对IGZO-TFT器件性能的影响 | 第51-54页 |
4.4.2 脉冲激光扫描次数对IGZO-TFT器件性能的影响 | 第54-55页 |
4.5 ZnO纳米颗粒的制备与表征 | 第55-57页 |
4.6 ZnO纳米颗粒TFT器件制备与测试 | 第57-58页 |
4.6.1 器件的制备 | 第57页 |
4.6.2 ZnO纳米颗粒薄膜表征分析 | 第57-58页 |
4.6.3 器件电学性能测试 | 第58页 |
4.7 本章小结 | 第58-60页 |
第五章 喷墨打印柔性IGZO-TFT初步探索与展望 | 第60-66页 |
5.1 PI衬底上IGZO-TFT器件的制备与测试 | 第60-63页 |
5.1.1 器件结构与制备 | 第60-62页 |
5.1.2 器件性能测试 | 第62-63页 |
5.2 PET衬底上IGZO-TFT器件的制备与测试 | 第63-64页 |
5.2.1 器件结构与制备 | 第63-64页 |
5.2.2 器件性能测试 | 第64页 |
5.3 小结与展望 | 第64-66页 |
结论 | 第66-68页 |
创新点与先进性 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-76页 |
致谢 | 第76-77页 |
个人简介 | 第77-78页 |
攻读硕士期间的研究成果及发表的学术论文 | 第78-79页 |