首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--半导体技术论文--半导体三极管(晶体管)论文--晶体管:按工艺分论文

基于喷墨打印的新型ZnO基TFT制备及性能研究

中文摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第一章 绪论第9-24页
    1.1 引言第9页
    1.2 TFT器件概述第9-17页
        1.2.1 TFT器件结构第9-11页
        1.2.2 TFT器件工作原理第11-12页
        1.2.3 TFT器件性能表征第12-14页
        1.2.4 TFT器件发展现状第14-17页
    1.3 喷墨打印技术概述第17-22页
        1.3.1 喷墨打印简介第17-18页
        1.3.2 喷墨打印技术种类第18-21页
        1.3.3 喷墨打印在平板显示中的应用与发展第21-22页
    1.4 本课题的研究意义和内容第22-24页
        1.4.1 本课题的研究意义第22页
        1.4.2 本课题研究的主要内容第22-24页
第二章 喷墨打印IGZO墨水的制备与性能调控第24-35页
    2.1 引言第24页
    2.2 IGZO墨水的制备第24-26页
        2.2.1 前驱物和溶剂的选取第24-25页
        2.2.2 制备过程第25-26页
    2.3 IGZO墨水的性能指标及其表征第26-28页
        2.3.1 粘度第26-27页
        2.3.2 表面张力第27-28页
    2.4 喷墨打印的控制与调节第28-31页
        2.4.1 喷墨打印设备第28-29页
        2.4.2 喷墨打印实验过程第29-30页
        2.4.3 墨滴的形成与调控第30-31页
    2.5 墨水稳定性的研究第31-34页
        2.5.1 墨水存放时间对墨滴稳定性的影响第31-33页
        2.5.2 打印过程中喷墨暂停时间对墨滴稳定性的影响第33-34页
    2.6 本章小结第34-35页
第三章 IGZO-TFT器件喷墨打印工艺及性能研究第35-48页
    3.1 引言第35页
    3.2 墨滴的干燥过程第35-37页
        3.2.1 “咖啡环”效应的产生原理第35-36页
        3.2.2 抑制“咖啡环”效应的方法第36-37页
    3.3 器件制备过程第37-39页
        3.3.1 实验材料及仪器第37-38页
        3.3.2 器件制备第38-39页
    3.4 IGZO薄膜均匀性调控及表征第39-43页
        3.4.1 基片温度对IGZO薄膜均匀性的影响第39-41页
        3.4.2 前驱体溶液浓度对IGZO薄膜均匀性的影响第41-43页
    3.5 IGZO-TFT的电学性能测试第43-47页
        3.5.1 IGZO薄膜厚度对TFT器件性能的影响第43-45页
        3.5.2 IGZO薄膜退火温度对TFT器件性能的影响第45-47页
    3.6 本章小结第47-48页
第四章 喷墨打印ZnO基TFT的低温工艺研究第48-60页
    4.1 引言第48页
    4.2 IGZO-TFT器件激光退火处理第48-49页
    4.3 IGZO薄膜形貌与结构表征第49-51页
        4.3.1 激光退火对薄膜表面形貌的影响第49-50页
        4.3.2 激光退火对薄膜结构的影响第50-51页
    4.4 IGZO-TFT的电学性能测试第51-55页
        4.4.1 脉冲激光能量密度对IGZO-TFT器件性能的影响第51-54页
        4.4.2 脉冲激光扫描次数对IGZO-TFT器件性能的影响第54-55页
    4.5 ZnO纳米颗粒的制备与表征第55-57页
    4.6 ZnO纳米颗粒TFT器件制备与测试第57-58页
        4.6.1 器件的制备第57页
        4.6.2 ZnO纳米颗粒薄膜表征分析第57-58页
        4.6.3 器件电学性能测试第58页
    4.7 本章小结第58-60页
第五章 喷墨打印柔性IGZO-TFT初步探索与展望第60-66页
    5.1 PI衬底上IGZO-TFT器件的制备与测试第60-63页
        5.1.1 器件结构与制备第60-62页
        5.1.2 器件性能测试第62-63页
    5.2 PET衬底上IGZO-TFT器件的制备与测试第63-64页
        5.2.1 器件结构与制备第63-64页
        5.2.2 器件性能测试第64页
    5.3 小结与展望第64-66页
结论第66-68页
创新点与先进性第68-69页
参考文献第69-76页
致谢第76-77页
个人简介第77-78页
攻读硕士期间的研究成果及发表的学术论文第78-79页

论文共79页,点击 下载论文
上一篇:高校青年教师发展视阈下的思想政治教育研究
下一篇:闽台漆艺研究--以沈绍安家族及陈火庆、赖高山、王清霜等为例