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基于TiO2的紫外光探测器的研制

提要第1-8页
第一章 绪论第8-22页
   ·引言第8页
   ·光电探测器理论第8-13页
   ·基于宽禁带半导体的紫外光探测器的进展情况第13-15页
   ·本论文的研究意义及主要内容第15-17页
 参考文献第17-22页
第二章 纳米TiO_2薄膜的制备与表征第22-53页
   ·纳米TiO_2 的结构第23-26页
     ·锐钛矿第24-25页
     ·金红石第25页
     ·板钛矿第25-26页
   ·TiO_2 的应用第26-27页
   ·TiO_2 薄膜的制备方法第27-28页
   ·纳米TiO_2 薄膜的制备和表征第28-39页
     ·溶胶凝胶法(sol-gel)原理第28-29页
     ·纳米TiO_2 薄膜的制备第29-30页
     ·纳米TiO_2 薄膜的表征第30-39页
   ·Ti_xZr_(1-x)O_2 固溶体薄膜的制备和表征第39-43页
     ·Ti_xZr_(1-x)O_2 固溶体薄膜的制备第39-40页
     ·Ti_xZr_(1-x)O_2 固溶体薄膜的表征第40-43页
   ·用自组装法制备TiO_2 薄膜及其表征第43-49页
     ·自组装法制备TiO_2 薄膜原理第43-45页
     ·制备TiO_2 薄膜的过程第45-46页
     ·TiO_2 薄膜的表征第46-49页
   ·本章小结第49-50页
 参考文献第50-53页
第三章 MSM型紫外探测器的制作和性能测试第53-79页
   ·MSM型光电探测器工作原理第53-57页
   ·光电探测器的主要参数第57-62页
   ·器件结构对探测器性能的影响第62-64页
   ·基于TiO_2 薄膜的MSM型紫外探测器的制作第64-66页
   ·基于sol-gel法制备的TiO_2 薄膜的器件的光电性能测试第66-71页
     ·器件的I-V特性曲线第66-68页
     ·器件在不同波长下的光响应第68-69页
     ·器件的响应时间第69-71页
   ·基于Ti_(0.8)Zr_(0.2)O_2 固溶体薄膜的器件的光电性能测试第71-73页
   ·基于自组装法制备的TiO_2 薄膜器件的光电性能测试第73-76页
   ·本章小结第76-78页
 参考文献第78-79页
第四章 TiO_2-金属接触肖特基势垒高度的研究第79-97页
   ·肖特基势垒的形成第79-80页
   ·肖特基势垒的载流子输运理论第80-84页
     ·热电子发射理论第81-82页
     ·扩散理论第82-83页
     ·热发射-扩散理论第83-84页
   ·肖特基势垒的I-V特性第84-86页
   ·影响势垒高度的几个原因第86-89页
     ·外加偏压对势垒高度的影响第86-87页
     ·界面态对势垒高度的影响第87-88页
     ·镜像力对势垒高度的影响第88-89页
   ·Ni/TiO_2/Ni和Au/TiO_2/Au两种器件的势垒高度的研究第89-95页
   ·本章小结第95-96页
 参考文献第96-97页
第五章 紫外线强度测试仪的制作第97-108页
   ·紫外线和紫外线指数第97-98页
   ·紫外线指数的计算第98-100页
   ·紫外线强度测试仪制作第100-106页
   ·本章小结第106-107页
 参考文献第107-108页
第六章 总结第108-111页
攻读博士学位论文期间发表的论文第111-112页
致谢第112-113页
摘要第113-117页
Abstract第117-121页

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