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基于负型光刻胶SU-8的光开关的研究

内容提要第1-9页
第一章 绪论第9-22页
   ·光开关的研究意义第9-11页
   ·光开关的分类第11-14页
   ·光开关的主要性能参数第14-16页
   ·热光开关和电光开关的研究进展第16-19页
   ·本论文主要工作第19-22页
第二章 光开关的理论第22-36页
   ·平面波导理论第22-25页
     ·矩形直波导第22-23页
     ·脊型波导理论第23-24页
     ·弯曲波导理论第24-25页
   ·波导光开关第25-30页
     ·不同波导结构的光开关第26-29页
     ·不同调制原理的光开关第29-30页
   ·电极理论第30-36页
第三章 分束器的研究第36-47页
   ·引言第36页
   ·材料的选择第36-39页
   ·1×N MMI 分束器的设计第39-41页
   ·分束器的制作和测试第41-45页
   ·本章小结第45-47页
第四章 热光开关的设计与制作第47-60页
   ·2×2 热光开关的设计第47-52页
   ·热光开关的制备第52-54页
   ·热光开关的测试第54-56页
   ·热光开关性能的提高第56-58页
   ·本章小结第58-60页
第五章 电光开关的设计与制作第60-84页
   ·电光开关的理论设计第60-72页
     ·可交联的PMMA-AMA 中掺入AJC146 生色团第60-68页
     ·有机无机杂化材料第68-71页
     ·SU-8 与 DR1 主客掺杂型电光材料第71-72页
   ·电光开关的制备第72-80页
     ·材料的合成和表征第72-75页
     ·MZI 波导和CPW 电极的制备第75-80页
   ·电光开关的测试第80-83页
     ·光波导测试第80页
     ·开关特性测试第80-83页
   ·本章小结第83-84页
第六章 总结与展望第84-87页
   ·总结第84-86页
   ·展望第86-87页
参考文献第87-97页
攻读博士学位期间发表的论文第97-100页
致谢第100-101页
摘要第101-105页
Abstract第105-108页

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