| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第8-25页 |
| 1.1 课题背景 | 第8页 |
| 1.2 选题意义 | 第8-9页 |
| 1.3 硅基谐振加速度计国内外研究进展 | 第9-23页 |
| 1.3.1 硅基谐振加速度计结构国内外研究进展 | 第9-17页 |
| 1.3.2 硅基谐振加速度计接口电路技术国内外研究进展 | 第17-20页 |
| 1.3.3 圆片级封装国内研究进展 | 第20-23页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 硅基谐振加速度计的工作机理研究 | 第25-35页 |
| 2.1 硅基谐振加速度计的工作机理与理论计算 | 第25-27页 |
| 2.1.1 硅基谐振加速度计的工作机理 | 第25页 |
| 2.1.2 力频方程的数学推导 | 第25-27页 |
| 2.2 硅基谐振加速度计的系统建模 | 第27-31页 |
| 2.2.1 检测质量的动力学模型 | 第27-28页 |
| 2.2.2 谐振子的动力学模型 | 第28-29页 |
| 2.2.3 基于Simulink的等效仿真模型 | 第29-31页 |
| 2.3 硅基谐振加速度计的驱动检测方式 | 第31-34页 |
| 2.3.1 谐振子的驱动方式 | 第31-32页 |
| 2.3.2 谐振子的检测方式 | 第32-33页 |
| 2.3.3 谐振子的驱动检测结构方案 | 第33-34页 |
| 2.4 小结 | 第34-35页 |
| 3 硅基谐振加速度计的结构设计和工艺研究 | 第35-50页 |
| 3.1 硅基谐振加速度计的双层结构设计 | 第35-42页 |
| 3.2 硅基谐振加速度计的工艺方案 | 第42-49页 |
| 3.2.1 全硅圆片级真空封装工艺技术研究 | 第42-47页 |
| 3.2.2 绝缘物填埋TSV工艺研究 | 第47-49页 |
| 3.3 小结 | 第49-50页 |
| 4 硅基谐振加速度计的闭环驱动研究 | 第50-63页 |
| 4.1 硅基谐振加速度计加速度计的闭环驱动控制机理研究 | 第50-60页 |
| 4.1.1 自激振荡原理 | 第50-51页 |
| 4.1.2 频率控制 | 第51-57页 |
| 4.1.3 幅度控制 | 第57-60页 |
| 4.2 基于Simulink的闭环控制系统仿真 | 第60-62页 |
| 4.2.1 系统建模 | 第60页 |
| 4.2.2 闭环驱动过程的仿真 | 第60-62页 |
| 4.3 小结 | 第62-63页 |
| 5 基于FPGA的数字驱动及频率检测技术研究 | 第63-84页 |
| 5.1 数字测控电路的总体设计 | 第63-64页 |
| 5.2 接口电路研究 | 第64-66页 |
| 5.2.1 C/V电路 | 第64页 |
| 5.2.2 波形整形电路 | 第64-66页 |
| 5.3 自适应数字锁相环 | 第66-74页 |
| 5.3.1 鉴相器模块 | 第69-70页 |
| 5.3.2 K模计数器模块 | 第70-71页 |
| 5.3.3 脉冲增减模块 | 第71-72页 |
| 5.3.4 N分频模块 | 第72页 |
| 5.3.5 分频参数控制模块 | 第72-74页 |
| 5.4 频率测量与串口通信研究 | 第74-79页 |
| 5.4.1 频率测量模块 | 第74-76页 |
| 5.4.2 串口通信模块 | 第76-79页 |
| 5.5 数字电路测试 | 第79-83页 |
| 5.5.1 数字信号处理电路 | 第79-81页 |
| 5.5.2 试验结果 | 第81-83页 |
| 5.6 小结 | 第83-84页 |
| 6 硅基谐振加速度计的测试与实验 | 第84-91页 |
| 6.1 实验测试平台 | 第84-85页 |
| 6.2 测试与实验 | 第85-90页 |
| 6.2.1 开环扫频实验 | 第85-86页 |
| 6.2.2 上电启动实验 | 第86-87页 |
| 6.2.3 标度因数测试 | 第87-88页 |
| 6.2.4 零偏稳定性测试 | 第88-89页 |
| 6.2.5 零偏重复性测试 | 第89-90页 |
| 6.3 小结 | 第90-91页 |
| 7 结论与展望 | 第91-93页 |
| 7.1 结论 | 第91页 |
| 7.2 论文主要创新性工作 | 第91-92页 |
| 7.3 后续工作展望 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术成果情况 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-100页 |