| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 微机电系统的发展现状与应用 | 第13-15页 |
| 1.2 绝缘硬脆材料在微机电系统中的应用 | 第15-17页 |
| 1.3 绝缘硬脆材料的加工技术 | 第17-20页 |
| 1.3.1 机械磨削加工 | 第17-18页 |
| 1.3.2 磨料水射流加工 | 第18页 |
| 1.3.3 超声加工 | 第18-19页 |
| 1.3.4 激光加工 | 第19页 |
| 1.3.5 电化学放电加工 | 第19-20页 |
| 1.4 激光电化学放电复合技术研究现状 | 第20-23页 |
| 1.4.1 激光加工技术研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4.2 电化学放电加工技术研究现状 | 第21-23页 |
| 1.5 课题来源和研究内容 | 第23-26页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第23页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第23-26页 |
| 第二章 激光电化学放电复合加工机理研究 | 第26-38页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 激光背向湿式刻蚀加工机理 | 第26-28页 |
| 2.2.1 光化学反应 | 第26页 |
| 2.2.2 空泡空化效应 | 第26-28页 |
| 2.3 电化学放电加工机理 | 第28-34页 |
| 2.3.1 电解反应产生气泡 | 第29-30页 |
| 2.3.2 气泡形成气层 | 第30-32页 |
| 2.3.3 火花放电去除材料 | 第32-34页 |
| 2.4 复合加工机理 | 第34-37页 |
| 2.4.1 激光热力效应模拟分析 | 第34-36页 |
| 2.4.2 复合加工去除材料 | 第36-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 电化学放电及机械辅助加工试验研究 | 第38-49页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 试验装置和方法 | 第38-42页 |
| 3.2.1 试验装置及条件 | 第38-40页 |
| 3.2.2 试验原理和方法 | 第40-42页 |
| 3.3 试验结果与分析 | 第42-48页 |
| 3.3.1 电源频率对微槽形貌和微槽宽度的影响 | 第42-44页 |
| 3.3.2 电源电压对微槽形貌和微槽宽度的影响 | 第44-45页 |
| 3.3.3 工具电极转速对微槽形貌和微槽宽度的影响 | 第45-47页 |
| 3.3.4 加工实例 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 激光背向刻蚀加工工艺研究 | 第49-62页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 试验设计 | 第49-54页 |
| 4.2.1 试验装置 | 第49-50页 |
| 4.2.2 试验理论分析 | 第50-52页 |
| 4.2.3 试验条件及方法 | 第52-54页 |
| 4.3 试验结果与讨论 | 第54-61页 |
| 4.3.1 硫酸铜溶液浓度对划槽效果的影响 | 第54-56页 |
| 4.3.2 激光输出功率对划槽效果的影响 | 第56-58页 |
| 4.3.3 扫描次数对划槽效果的影响 | 第58-59页 |
| 4.3.4 扫描速度对划槽效果的影响 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 激光电化学放电复合加工微孔 | 第62-68页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 试验设计 | 第62-64页 |
| 5.2.1 试验装置 | 第62-63页 |
| 5.2.2 加工过程控制 | 第63-64页 |
| 5.2.3 试验条件及方法 | 第64页 |
| 5.3 试验结果与讨论 | 第64-67页 |
| 5.3.1 电源电压对微孔加工的影响 | 第64-66页 |
| 5.3.2 激光输出功率对微孔加工的影响 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-72页 |
| 6.1 论文总结 | 第68-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第79页 |