| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 红外探测种类 | 第9-14页 |
| 1.2.1 PIN型红外探测器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 雪崩二极管(APD) | 第11-12页 |
| 1.2.3 量子阱红外探测器(QWIP) | 第12-13页 |
| 1.2.4 MSM型探测器 | 第13-14页 |
| 1.3 研究目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.4 微透镜阵列的国内研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 本文研究的主要内容与章节安排 | 第16-18页 |
| 第二章 PIN型红外探测器的概述 | 第18-28页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 PIN红外探测器的基本原理 | 第18-19页 |
| 2.3 PIN型红外探测器的种类 | 第19-21页 |
| 2.3.1 面入射型红外探测器 | 第20页 |
| 2.3.2 波导型红外探测器 | 第20-21页 |
| 2.3.3 谐振腔型红外探测器 | 第21页 |
| 2.4 影响PIN型红外探测器性能的参数 | 第21-26页 |
| 2.4.1 暗电流 | 第22-23页 |
| 2.4.2 噪声 | 第23-24页 |
| 2.4.3 量子效率和响应度 | 第24-25页 |
| 2.4.4 探测率 | 第25页 |
| 2.4.5 响应时间和吸收系数 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 微透镜阵列的制作方法和应用 | 第28-42页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 微透镜阵列的制作工艺 | 第28-32页 |
| 3.2.1 光刻胶热熔法 | 第29-30页 |
| 3.2.2 光敏玻璃热成型法 | 第30-31页 |
| 3.2.3 离子交换法 | 第31-32页 |
| 3.3 微透镜阵列的光学设计 | 第32-36页 |
| 3.4 单个微透镜与微透镜阵列的关系 | 第36-38页 |
| 3.5 微透镜阵列的应用 | 第38-40页 |
| 3.5.1 在成像方面 | 第38页 |
| 3.5.2 照明方面 | 第38-39页 |
| 3.5.3 在立体视图像显示 | 第39页 |
| 3.5.4 三维物体识别 | 第39页 |
| 3.5.5 改善CCD | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 光刻胶热熔法制作微透镜阵列技术的研究 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 制作表面具有微透镜阵列的PIN型红外探测器的具体过程 | 第42-47页 |
| 4.3 光刻胶热熔法制作红外探测器的关键步骤 | 第47-55页 |
| 4.3.1 基片清洗 | 第47页 |
| 4.3.2 光刻胶的选择 | 第47-48页 |
| 4.3.3 涂胶和甩胶 | 第48-49页 |
| 4.3.4 前烘 | 第49-50页 |
| 4.3.5 曝光、显影和坚膜 | 第50-52页 |
| 4.3.6 热熔 | 第52-54页 |
| 4.3.7 图形转移 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 表面具有微透镜阵列的PIN型红外探测器的性能研究 | 第56-62页 |
| 5.1 微透镜阵列的均匀性测试 | 第56页 |
| 5.2 表面具有微透镜阵列红外探测器的探测率的研究 | 第56-57页 |
| 5.3 表面具有微透镜阵列红外探测器探测视角的研究 | 第57-60页 |
| 5.4 表面具有微透镜阵列的红外探测器傅里叶光谱研究 | 第60-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
