污染物对热膜式流量传感器测量精度影响的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 热式流量传感器的发展现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 热损失式流量传感器 | 第8-9页 |
| 1.2.2 热分布式流量传感器 | 第9-12页 |
| 1.2.3 热脉冲式流量传感器 | 第12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 热膜式流量传感器基本理论 | 第15-30页 |
| 2.1 热传递理论 | 第15-18页 |
| 2.1.1 热传递的方式 | 第15-16页 |
| 2.1.2 导热 | 第16-17页 |
| 2.1.3 热对流 | 第17-18页 |
| 2.2 热膜式流量传感器数学模型 | 第18-26页 |
| 2.2.1 传感器二维模型 | 第18-19页 |
| 2.2.2 传热学模型 | 第19-22页 |
| 2.2.3 边界条件与模型求解 | 第22-26页 |
| 2.3 试验验证 | 第26-29页 |
| 2.3.1 传感器芯片电阻的温度-阻值特性 | 第26-27页 |
| 2.3.2 上下游温差与流量的关系 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 热膜式流量传感器及污染物的影响 | 第30-53页 |
| 3.1 热膜式流量传感器 | 第30-31页 |
| 3.1.1 热膜式流量传感器的结构 | 第30-31页 |
| 3.1.2 热膜式流量传感器的测量原理 | 第31页 |
| 3.2 热膜式流量传感器内部流动特性 | 第31-33页 |
| 3.2.1 层流与湍流 | 第31-32页 |
| 3.2.2 平均速度 | 第32页 |
| 3.2.3 边界层 | 第32-33页 |
| 3.2.4 充分发展段和入口段 | 第33页 |
| 3.3 污染物的分布规律及其对传感器输出的影响 | 第33-41页 |
| 3.3.1 污染物沉积试验平台 | 第34-35页 |
| 3.3.2 测量方法 | 第35-36页 |
| 3.3.3 污染物沉积试验 | 第36-37页 |
| 3.3.4 污染物对传感器输出的影响 | 第37-41页 |
| 3.4 仿真分析及对比 | 第41-52页 |
| 3.4.1 热膜式流量传感器的几何模型 | 第41-42页 |
| 3.4.2 仿真模型 | 第42-45页 |
| 3.4.3 芯片表面温度场分析 | 第45-47页 |
| 3.4.4 污染物对芯片表面流场的影响 | 第47-48页 |
| 3.4.5 污染物对芯片表面温度场的影响 | 第48-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 试验分析 | 第53-62页 |
| 4.1 微喷成型试验平台 | 第53-54页 |
| 4.2 试验结果 | 第54-61页 |
| 4.2.1 污染物形态 | 第54页 |
| 4.2.2 污染物对传感器输出的影响 | 第54-59页 |
| 4.2.3 污染物对上下游测温电阻温度差的影响 | 第59-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 | 第68页 |
