基于MEMS压电超声波换能器的无线能量传输研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-33页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 MEMS技术及其应用 | 第14-17页 |
| 1.3 国内外无线能量传输研究现状 | 第17-23页 |
| 1.4 无线能量传输转换方式 | 第23-28页 |
| 1.4.1 电磁式无线能量转换 | 第23-26页 |
| 1.4.2 静电式无线能量转换 | 第26-27页 |
| 1.4.3 压电式无线能量转换 | 第27-28页 |
| 1.5 超声波技术的发展及应用 | 第28-31页 |
| 1.6 本论文研究意义及主要内容 | 第31-33页 |
| 第2章 压电超声波能量采集器的理论与设计 | 第33-51页 |
| 2.1 压电超声波能量采集器的理论基础 | 第33-35页 |
| 2.1.1 压电效应基本理论 | 第33-34页 |
| 2.1.2 压电方程 | 第34-35页 |
| 2.2 压电材料 | 第35-38页 |
| 2.2.1 压电材料参数 | 第35-37页 |
| 2.2.2 常见压电薄膜 | 第37-38页 |
| 2.3 压电式无限能量传输等效力学模型 | 第38-40页 |
| 2.4 压电式能量采集器的电学模型 | 第40-41页 |
| 2.5 超声波发射器向空间辐射声波过程仿真分析 | 第41-44页 |
| 2.6 单个器件的设计与仿真 | 第44-50页 |
| 2.6.1 单个方形器件的仿真 | 第44-47页 |
| 2.6.2 单个圆形器件的仿真 | 第47-50页 |
| 2.7 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 器件加工工艺介绍 | 第51-64页 |
| 3.1 单个MEMS器件的加工 | 第51-56页 |
| 3.2 具体实物器件及具体参数对比 | 第56-57页 |
| 3.3 阵列型器件的加工 | 第57-62页 |
| 3.4 阵列型器件实物图 | 第62-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 单个pMUT器件的测试与比较 | 第64-83页 |
| 4.1 基本测试原理 | 第64-67页 |
| 4.2 测试平台搭建 | 第67-68页 |
| 4.3 空气中实验测试 | 第68-75页 |
| 4.4 去离子水中的测试 | 第75-79页 |
| 4.5 猪肉组织中的测试 | 第79-82页 |
| 4.6 本章小结 | 第82-83页 |
| 第5章 阵列型pMUTs器件的测试 | 第83-91页 |
| 5.1 阵列型器件的结构 | 第83页 |
| 5.2 阵列型器件的等效电路 | 第83-84页 |
| 5.3 阵列型器件的性能测试 | 第84-86页 |
| 5.4 单个器件与阵列型在空气和去离子水中的测试 | 第86-89页 |
| 5.5 阵列型器件在组织中的测试 | 第89页 |
| 5.6 本章小结 | 第89-91页 |
| 第6章 总结与展望 | 第91-93页 |
| 6.1 工作总结 | 第91-92页 |
| 6.2 工作展望 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-100页 |
| 攻读硕士学位期间主要的研究成果 | 第100页 |
