| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 超精密加工的需求及意义 | 第9-14页 |
| 1.1.1 超精密加工的意义 | 第9-12页 |
| 1.1.2 硬脆材料超精密加工的意义 | 第12页 |
| 1.1.3 硬脆材料超精密加工的局限 | 第12-14页 |
| 1.2 脆性材料超精密车削技术的研究进展 | 第14-18页 |
| 1.2.1 硬脆材料超精密切削模型 | 第14-16页 |
| 1.2.2 硬脆材料超精密切削脆塑转变机理 | 第16-18页 |
| 1.3 离子注入表面改性辅助硬脆光学材料超精密切削加工的提出及意义 | 第18-21页 |
| 1.3.1 离子注入表面改性辅助硬脆材料超精密切削加工的提出及意义 | 第18-19页 |
| 1.3.2 离子注入表面改性辅助硬脆光学材料超精密车削加工的意义 | 第19-20页 |
| 1.3.3 离子注入表面改性辅助硬脆光学材料超精密加工的研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4 选题背景及本论文的主要工作 | 第21-22页 |
| 第二章 超精密车削加工机理研究 | 第22-43页 |
| 2.1 超精密加工机理的研究 | 第22-37页 |
| 2.1.1 分子动力学简介及模拟条件 | 第22-26页 |
| 2.1.1.1 势函数 | 第23-24页 |
| 2.1.1.2 仿真建模 | 第24-26页 |
| 2.1.2 单晶硅纳米切削机理研究 | 第26-37页 |
| 2.1.2.1 纳米切削模拟计算条件 | 第26-27页 |
| 2.1.2.2 切削过程工件形态演变分析 | 第27页 |
| 2.1.2.3 切削力变化 | 第27-29页 |
| 2.1.2.4 工件势能变化 | 第29-31页 |
| 2.1.2.5 工件晶格结构变化 | 第31-34页 |
| 2.1.2.6 切削结果分析 | 第34-37页 |
| 2.2 超精密车削加工刀具磨损研究 | 第37-42页 |
| 2.2.1 刀具磨损模型及切削过程 | 第37-40页 |
| 2.2.2 刀具磨损分析及机理分析 | 第40-42页 |
| 2.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 离子注入表面改性超精密加工方法及机理研究 | 第43-79页 |
| 3.1 离子注入表面改性机理研究 | 第43-61页 |
| 3.1.1 离子注入表面改性的蒙特卡洛模拟 | 第43-47页 |
| 3.1.1.1 蒙特卡洛模拟简介 | 第43-44页 |
| 3.1.1.2 蒙特卡洛对离子注入的模拟 | 第44-47页 |
| 3.1.2 离子注入表面改性的分子动力学模拟 | 第47-52页 |
| 3.1.2.1 离子注入过程分析 | 第47-49页 |
| 3.1.2.2 已注入表面分析 | 第49-52页 |
| 3.1.3 离子注入表面改性的实验测试研究 | 第52-61页 |
| 3.1.3.1 离子注入实验 | 第52-53页 |
| 3.1.3.2 电镜测试及FIB样品制备 | 第53-55页 |
| 3.1.3.3 拉曼测试 | 第55-56页 |
| 3.1.3.4 纳米压痕测试 | 第56-61页 |
| 3.2 离子注入表面改性超精密加工机理研究 | 第61-72页 |
| 3.2.1 离子注入表面改性超精密加工机理的模拟研究 | 第62-64页 |
| 3.2.1.1 切削过程分析 | 第62-63页 |
| 3.2.1.2 切削机理分析 | 第63-64页 |
| 3.2.2 离子注入表面改性超精密加工机理的实验研究 | 第64-72页 |
| 3.2.2.1 纳米划痕分析 | 第64-66页 |
| 3.2.2.2 斜切(Taper-cutting)测试分析 | 第66-68页 |
| 3.2.2.3 切削实验分析 | 第68-69页 |
| 3.2.2.4 刀具磨损分析 | 第69-71页 |
| 3.2.2.5 实际加工验证 | 第71-72页 |
| 3.3 离子注入表面改性退火机理研究 | 第72-77页 |
| 3.3.1 离子注入表面改性超精密加工退火机理简介 | 第72-73页 |
| 3.3.2 离子注入表面改性超精密加工退火研究 | 第73-77页 |
| 3.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第四章 离子注入表面改性超精密加工技术及应用的研究 | 第79-102页 |
| 4.1 离子注入表面改性方法 | 第79-89页 |
| 4.1.1 注入离子种类的研究 | 第79-82页 |
| 4.1.1.1 伽马射线辐照 | 第80-81页 |
| 4.1.1.2 低能离子注入 | 第81-82页 |
| 4.1.2 高能离子注入不同材料 | 第82-87页 |
| 4.1.3 多次离子注入 | 第87-89页 |
| 4.2 离子注入表面改性应用-太赫兹关键件的超精密加工 | 第89-101页 |
| 4.2.1 太赫兹简介 | 第89-91页 |
| 4.2.2 离子注入在GaP微棱锥器件上的应用 | 第91-96页 |
| 4.2.3 离子注入在LiNbO_3上的应用 | 第96-101页 |
| 4.2.3.1 LiNbO_3在太赫兹上的应用 | 第96-97页 |
| 4.2.3.2 LiNbO_3的机械性能测试 | 第97-99页 |
| 4.2.3.3 LiNbO_3的离子注入表面改性 | 第99-101页 |
| 4.3 本章小结 | 第101-102页 |
| 第五章 总结及展望 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-110页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
