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泡生法晶体生长设备控制系统的研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第10-16页
    1.1 蓝宝石晶体的特性介绍第10页
    1.2 蓝宝石晶体的应用领域第10-11页
    1.3 国内外研究进展第11-13页
    1.4 课题研究意义与主要研究内容第13-14页
        1.4.1 课题研究意义第13页
        1.4.2 主要研究内容第13-14页
    1.5 本章小结第14-16页
2 蓝宝石晶体生长理论研究与总体方案介绍第16-28页
    2.1 蓝宝石晶体生长工艺比较与选定第16-19页
        2.1.1 生长工艺比较第16-18页
        2.1.2 生长工艺选定第18-19页
    2.2 生长理论研究第19-23页
        2.2.1 晶体生长能量守恒方程第19-20页
        2.2.2 晶体生长直径控制原理第20-21页
        2.2.3 上称重法直径控制原理第21-23页
    2.3 泡生法的蓝宝石晶体生长系统总方案介绍第23-26页
    2.4 本章小结第26-28页
3 蓝宝石晶体生长等径控制研究第28-38页
    3.1 控制系统的分析第28-30页
        3.1.1 控制系统的探讨和被控对象的分析第28-29页
        3.1.2 建立控制系统数学模型第29-30页
    3.2 温度与称重串级控制系统的确立第30-31页
    3.3 温度控制算法的选取第31-36页
        3.3.1 典型控制算法的比较第31-33页
        3.3.2 单神经元PID算法的确定第33-36页
    3.4 本章小结第36-38页
4 蓝宝石晶体生长系统的设计第38-60页
    4.1 生长系统主控平台的选择第38-41页
        4.1.1 各种控制平台的比较第38-39页
        4.1.2 PLC控制系统设计方法与流程第39页
        4.1.3 PLC选型第39-40页
        4.1.4 基于PLC的生长系统的具体方案第40-41页
    4.2 机械系统的设计第41-43页
        4.2.1 机械系统的总体结构和方案设计第41-43页
        4.2.2 重要机械部件的选型第43页
    4.3 运控控制子系统的设计第43-50页
        4.3.1 运动控制子系统的分析第43-44页
        4.3.2 运动控制子系统的方案设计第44页
        4.3.3 运动控制子系统的电器元件选型第44-47页
        4.3.4 运动控制子系统硬件电路搭建及软件设计第47-50页
    4.4 温度控制子系统的设计第50-52页
        4.4.1 温度控制子系统的硬件设计第50-51页
        4.4.2 单神经元PID控制温度的程序设计第51-52页
    4.5 称重子系统的设计第52-55页
        4.5.1 称重子系统结构设计第52-53页
        4.5.2 称重传感器选择第53-54页
        4.5.3 称重子系统的搭建第54-55页
    4.6 蓝宝石晶体生长控制系统的设计第55-58页
        4.6.1 生长控制系统的硬件设计第56页
        4.6.2 生长控制系统的软件设计第56-58页
    4.7 本章小结第58-60页
5 人机交互子系统设计与控制系统仿真第60-70页
    5.1 TIAportal(博途)全集成自动化软件介绍第60页
    5.2 蓝宝石晶体生长人机交互子系统的设计第60-64页
        5.2.1 人机交互的主要任务与设计内容第60-61页
        5.2.2 SIMATIC精简系列面板的介绍与选型第61页
        5.2.3 WinCC软件的功能介绍第61-62页
        5.2.4 人机交互子系统的界面设计第62-64页
    5.3 MATLAB及Simulink介绍第64-65页
    5.4 蓝宝石晶体生长控制系统仿真第65-68页
        5.4.1 控制系统数学模型的分析第65-66页
        5.4.2 Simulink仿真及结果分析第66-68页
    5.5 本章小结第68-70页
6 结论与展望第70-72页
    6.1 结论第70-71页
    6.2 展望第71-72页
致谢第72-74页
参考文献第74-78页
附录A 单神经元PID控制算法程序第78-80页
附录B 攻读硕士学位期间发表论文与项目第80页

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