| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| ·研究目的和意义 | 第9-11页 |
| ·小功率微波等离子体的研究现状 | 第11-15页 |
| ·小功率微波等离子体理论的研究 | 第11-12页 |
| ·小功率微波等离子体特性的研究 | 第12页 |
| ·微波等离子体应用方面的进展 | 第12-13页 |
| ·小功率微波等离子体源的研究 | 第13-15页 |
| ·论文的主要内容和创新点 | 第15-16页 |
| ·论文的内容安排 | 第16-17页 |
| 第二章 平面螺旋电感耦合天线的基本理论 | 第17-26页 |
| ·平面螺旋电感的基本结构和场分析 | 第17-20页 |
| ·射频螺旋电感线圈的性能分析和优化理论 | 第20-23页 |
| ·介质层厚度对线圈品质因数的影响 | 第21页 |
| ·介质层材料对线圈品质因数的影响 | 第21-22页 |
| ·介质层的电导率对线圈品质因数的影响 | 第22-23页 |
| ·渐变式结构射频螺旋线圈的性能分析和设计 | 第23-26页 |
| 第三章 等离子体的电磁模型 | 第26-30页 |
| ·等离子体的基本性质 | 第26-28页 |
| ·等离子体的色散模型分析 | 第28-29页 |
| ·等离子体的Drude模型的建立 | 第29-30页 |
| 第四章 渐变结构平面微带螺旋ICPS的场分析 | 第30-36页 |
| ·等效电路模型法 | 第30-32页 |
| ·表面电磁流全波分析方法 | 第32-36页 |
| 第五章 对2.45GHz的渐变结构式平面螺旋ICPS天线的软件仿真设计与实验测试 | 第36-43页 |
| ·渐变螺旋线圈参数设计 | 第36页 |
| ·渐变结构与均匀结构螺旋线圈的S11和Q值比较 | 第36-38页 |
| ·渐变结构与均匀结构螺旋线圈电磁场分布的比较 | 第38-39页 |
| ·介质层介电常数和厚度对渐变结构线圈的谐振频率影响 | 第39-40页 |
| ·实物测试 | 第40-43页 |
| 第六章 等离子体激发后ICPS天线的性能仿真 | 第43-50页 |
| ·等离子体激励后的S11的仿真结果 | 第43-46页 |
| ·外加静磁场与等离子体相互作用的理论分析 | 第46-48页 |
| ·外加静磁场后等离子体的变化情况 | 第48-50页 |
| 第七章 总结与展望 | 第50-51页 |
| ·总结 | 第50页 |
| ·进一步的工作 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |