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单晶硅直径测量技术的研究与实现

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
缩略词表第6-10页
第1章 绪论第10-16页
    1.1 研究背景第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-12页
    1.3 课题研究内容,目的和意义第12-14页
    1.4 本文的组织与安排第14-16页
第2章 单晶硅直径检测系统第16-25页
    2.1 FPGA图像处理的优势第16-17页
    2.2 软硬件协同设计架构第17-22页
        2.2.1 AlteraCycloneIV系列芯片第17-18页
        2.2.2 CMOS摄像头第18-20页
        2.2.3 VGA显示第20-22页
    2.3 图像预处理第22-23页
        2.3.0 图像获取第22页
        2.3.1 图像滤波第22页
        2.3.2 边缘提取第22-23页
    2.4 本章小结第23-25页
第3章 图像处理算法第25-42页
    3.1 感兴趣区域算法第25-29页
        3.1.1 本文感兴趣区域算法第27-29页
    3.2 灰度变换第29-30页
    3.3 图像滤波第30-34页
        3.3.1 常见的噪声滤波器第30-31页
        3.3.2 本文选取的自适应滤波器第31-34页
    3.4 图像阈值分割第34-35页
    3.5 图像边缘提取算法第35-41页
        3.5.1 传统的边缘提取第36-39页
        3.5.2 本文提出的边缘提取方法第39-41页
    3.6 本章小结第41-42页
第4章 直径测量方法第42-53页
    4.1 传统直径测量方法第42-44页
        4.1.1 拟合圆弧亚像素第42页
        4.1.2 特征点检测拟合第42-43页
        4.1.3 Hough变换椭圆拟合第43-44页
    4.2 改进最小二乘法椭圆拟合第44-47页
        4.2.1 最小二乘法拟合椭圆第44-45页
        4.2.2 改进最小二乘法拟合第45-47页
    4.3 剔除野值椭圆拟合第47-50页
        4.3.1 格布拉斯剔除野值第47-49页
        4.3.2 RANSAC剔除野值第49-50页
    4.4 测量方法比较第50-51页
    4.5 本章小结第51-53页
第5章 结论与展望第53-56页
    5.1 全文工作总结第53-54页
    5.2 研究展望第54-56页
参考文献第56-58页
附录A 边缘提取后的数据第58-61页
附录B 10帧图像第61-63页
攻读学位期间取得的研究成果第63-64页
致谢第64页

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