| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 插图清单 | 第9-11页 |
| 表格清单 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究的背景与意义 | 第12-14页 |
| ·微机电系统的发展 | 第12-13页 |
| ·粘弹性材料在微机电系统中的应用 | 第13页 |
| ·微机电系统力学测量的重要性 | 第13-14页 |
| ·国内外的研究现状 | 第14-17页 |
| ·接触形貌对纳米压痕测量影响的研究 | 第14-15页 |
| ·粘弹性材料纳米压痕测量的研究 | 第15-17页 |
| ·研究的目标与内容 | 第17-20页 |
| ·研究的主要目标 | 第17-18页 |
| ·论文的内容安排 | 第18-20页 |
| 第二章 纳米压痕技术与有限元法 | 第20-33页 |
| ·纳米压痕技术 | 第20-27页 |
| ·纳米压痕仪简介 | 第20-21页 |
| ·几种常用压头 | 第21-22页 |
| ·纳米硬度理论 | 第22-24页 |
| ·纳米压痕弹性模量理论 | 第24-27页 |
| ·粘弹性材料的有限元法 | 第27-32页 |
| ·有限元法与有限元分析软件 | 第27-29页 |
| ·粘弹性材料的力学特性 | 第29-30页 |
| ·粘弹性材料的本构关系 | 第30-32页 |
| ·粘弹性材料的有限元模型 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 纳米压痕实验测量粘弹性材料力学特性及有限元仿真 | 第33-49页 |
| ·聚合物材料PVC材料简介 | 第33页 |
| ·纳米压痕实验 | 第33-38页 |
| ·实验样品 | 第33-34页 |
| ·实验仪器 | 第34页 |
| ·实验方案 | 第34-35页 |
| ·纳米压痕实验 | 第35页 |
| ·实验数据的处理与分析 | 第35-38页 |
| ·有限元软件ANSYS10.0仿真压痕实验 | 第38-45页 |
| ·对象分析 | 第38-39页 |
| ·几何模型 | 第39-40页 |
| ·单元选择与材料属性 | 第40-42页 |
| ·网络划分 | 第42-43页 |
| ·边界条件 | 第43-44页 |
| ·模型加载与设置 | 第44页 |
| ·结果提取 | 第44-45页 |
| ·数据结果的比对、分析 | 第45-48页 |
| ·数值计算后的等效示意图 | 第45-46页 |
| ·弹性模量理论分析 | 第46-47页 |
| ·硬度值分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 接触形貌在粘弹性材料纳米压痕实验中的影响 | 第49-64页 |
| ·压头尖端曲率半径的影响 | 第49-53页 |
| ·压头几何形貌分析 | 第49-50页 |
| ·有限元模型 | 第50页 |
| ·仿真结果与分析 | 第50-53页 |
| ·位移形变和等效应力示意图 | 第50-52页 |
| ·硬度归一化分析 | 第52-53页 |
| ·表面粗糙度的影响 | 第53-63页 |
| ·表面粗糙度理论概述 | 第53-54页 |
| ·μ≈D、R_y时粗糙度的影响 | 第54-60页 |
| ·接触零点在谷底时 | 第55-56页 |
| ·接触零点在峰顶时 | 第56-58页 |
| ·硬度归一化分析 | 第58-60页 |
·μ<| 第60-63页 | |
| ·斜坡模型分析 | 第60页 |
| ·位移形变比对 | 第60-61页 |
| ·等效应力比对 | 第61-62页 |
| ·硬度归一化分析 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·工作内容 | 第64页 |
| ·本文创新点 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第71页 |