富士迈公司的改善体系建立与OEE的应用研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 研究背景与研究动机 | 第11-13页 |
| 1.2 研究目的及内容 | 第13-14页 |
| 1.3 研究方法及步骤 | 第14页 |
| 1.4 论文架构 | 第14-16页 |
| 第二章 设备综合效率（简称OEE）的研究概述 | 第16-22页 |
| 2.1 OEE 基本概念 | 第16-18页 |
| 2.1.1 OEE 的定义 | 第16页 |
| 2.1.2 OEE 的三大因素 | 第16-17页 |
| 2.1.3 OEE 计算方式拟定 | 第17-18页 |
| 2.1.4 OEE 的衡量指标 | 第18页 |
| 2.2 OEE 的发展历程 | 第18-20页 |
| 2.2.1 设备管理的事后修理阶段 | 第18页 |
| 2.2.2 设备管理的预防修理阶段 | 第18-19页 |
| 2.2.3 设备管理的生产维修阶段 | 第19页 |
| 2.2.4 设备管理的设备综合管理阶段 | 第19页 |
| 2.2.5 OEE 的发展阶段 | 第19-20页 |
| 2.3 OEE 的国内外现状 | 第20-22页 |
| 第三章 富士迈公司背景分析及其问题探讨 | 第22-33页 |
| 3.1 产业概况与半导体设备制造流程 | 第22-25页 |
| 3.1.1 产业概况 | 第22-24页 |
| 3.1.2 半导体设备制造流程 | 第24-25页 |
| 3.2 公司简介 | 第25-26页 |
| 3.3 公司竞争环境分析及其挑战 | 第26-28页 |
| 3.4 富士迈公司针对性改善体系的建立 | 第28-33页 |
| 3.4.1 问题的发现技术 | 第28页 |
| 3.4.2 问题及原因分析 | 第28-29页 |
| 3.4.3 措施方案产生 | 第29页 |
| 3.4.4 方案试验与效果评价 | 第29-30页 |
| 3.4.5 方案比选与评价 | 第30页 |
| 3.4.6 方案的实现与改进 | 第30页 |
| 3.4.7 作业指导书的生成 | 第30页 |
| 3.4.8 方案归档 | 第30页 |
| 3.4.9 富士迈公司改善工作组的改善体系 | 第30-33页 |
| 第四章 OEE 在富士迈机加工车间的应用 | 第33-46页 |
| 4.1 OEE 在机加工部运作方案的选定 | 第33页 |
| 4.1.1 OEE 通用运作方案的概述 | 第33页 |
| 4.1.2 机加工OEE 运作方案的选定 | 第33页 |
| 4.2 机加工OEE 初步选定机台 | 第33-34页 |
| 4.3 机加工OEE 原始数据收集 | 第34-37页 |
| 4.3.1 OEE 数据收集表格设计 | 第34-36页 |
| 4.3.2 OEE 数据采集 | 第36-37页 |
| 4.4 机加工OEE 原始数据统计 | 第37页 |
| 4.5 机加工OEE 计算原理和方法 | 第37-40页 |
| 4.6 机加工OEE 指标拟定及原始数据汇整处理 | 第40-45页 |
| 4.6.1 机加工OEE 指标拟定 | 第40页 |
| 4.6.2 机加工OEE 原始数据汇整处理 | 第40-45页 |
| 4.7 OEE 在抽样机台中的损失分析 | 第45-46页 |
| 第五章 机加工抽样机台异常改善 | 第46-54页 |
| 5.1 机加工OEE 主要异常因素 | 第46页 |
| 5.2 工具/夹具的改善应用 | 第46-53页 |
| 5.2.1 工件的基本数据 | 第46-47页 |
| 5.2.2 改善夹具前加工工艺说明 | 第47-48页 |
| 5.2.3 改善夹具后加工工艺说明 | 第48页 |
| 5.2.4 夹具的设计 | 第48-50页 |
| 5.2.5 夹具在工件加工步骤中的应用 | 第50-53页 |
| 5.3 停工待料及装夹刀具的改善 | 第53-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 附录 1 | 第57-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第80页 |
