纳米压痕仪的校准及不确定度评定
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 纳米压痕力学测量技术 | 第10-13页 |
| 1.1.1 纳米压痕力学测量技术的发展 | 第10-11页 |
| 1.1.2 纳米压痕力学测量技术的应用 | 第11-13页 |
| 1.2 国外纳米压痕仪的介绍 | 第13-17页 |
| 1.3 纳米压痕仪校准的国内外研究状况 | 第17-19页 |
| 1.4 课题的提出及主要研究内容 | 第19-22页 |
| 1.4.1 课题的提出 | 第19-20页 |
| 1.4.2 课题的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 纳米压痕力学测量的基础理论 | 第22-34页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 纳米压痕力学测量的基本原理 | 第23-25页 |
| 2.3 纳米压痕力学测量中常用的压头类型 | 第25-27页 |
| 2.4 影响纳米压痕力学测量精度的因素 | 第27-33页 |
| 2.4.1 来自测量仪器的影响因素 | 第28-30页 |
| 2.4.2 来自样品材料的影响因素 | 第30-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 压头面积函数的校准与溯源 | 第34-50页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 压头面积函数的间接校准法 | 第34-38页 |
| 3.2.1 机架柔度的校准 | 第35-36页 |
| 3.2.2 玻式压头面积函数的校准 | 第36-38页 |
| 3.3 基于原子力显微镜测量的直接校准法 | 第38-44页 |
| 3.3.1 原子力显微镜的扫描原理 | 第38-39页 |
| 3.3.2 玻式压头面积函数的校准实验 | 第39-41页 |
| 3.3.3 面积函数的校准结果 | 第41-42页 |
| 3.3.4 机架柔度的校准实验 | 第42-44页 |
| 3.4 两种校准方法的对比分析 | 第44-48页 |
| 3.4.1 纳米压痕测试 | 第44页 |
| 3.4.2 纳米压痕测试结果及分析 | 第44-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 载荷因子的校准与溯源 | 第50-62页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 载荷因子的校准方案 | 第50-52页 |
| 4.3 载荷因子的校准实验 | 第52-56页 |
| 4.4 纳米压痕测试 | 第56-59页 |
| 4.5 本章总结 | 第59-62页 |
| 第五章 纳米压痕仪不确定度的评定 | 第62-74页 |
| 5.1 引言 | 第62-63页 |
| 5.2 载荷标准不确定度的评定 | 第63-65页 |
| 5.3 位移标准不确定度的评定 | 第65-68页 |
| 5.4 面积函数和接触刚度不确定度的评定 | 第68-71页 |
| 5.4.1 面积函数不确定度的评定 | 第68-71页 |
| 5.4.2 接触刚度不确定度的评定 | 第71页 |
| 5.5 纳米硬度和折合模量不确定度的评定 | 第71-73页 |
| 5.6 本章总结 | 第73-74页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 全文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第82页 |
